ZEISS GeminiSEM 460 DVIA-ML1000 설치 보고서
Contents
개요
Wuhan에 DVIA-ML1000을 설치한 후 튜닝 및 진동 측정을 수행하였습니다.
진동 측정은 장비가 Idle 상태일 때 진행하였습니다.
데이터는 Autospectrum 형식으로 표시하였으며, 진동 수준에 대한 참고자료를 함께 제공합니다.
제진대 정보
모델: DVIA-ML1000
시리얼 넘버: 260729R7
엔지니어
김태헌 · 대일시스템
튜닝 날짜
2026.10.20
End User
Wuhan University of Science and Technology
튜닝 횟수
1st
설치 장소
Wuhan
고객사 장비
제조사: ZEISS
장비: FE-SEM
모델: GeminiSEM 460
진동 스펙
Horizontal
| 주파수 [Hz] | 허용치 [µm/s RMS] |
|---|---|
| 1 ~ 10 | 5 |
| 10 ~ 60 | 10 |
| 60 ~ | 14 |
Vertical
| 주파수 [Hz] | 허용치 [µm/s RMS] |
|---|---|
| 1 ~ 10 | 4 |
| 10 ~ 60 | 14 |
| 60 ~ | 20 |
장비 상태
Idle
결론
Wuhan University of Science and Technology에 DVIA-ML1000(S/N 260729R7)을 설치하고 튜닝한 후, ZEISS GeminiSEM460이 Idle 상태인 조건에서 바닥과 DVIA-ML1000 상면의 진동을 측정하였습니다.
DVIA-ML1000에서 측정한 진동은 세 축(Vertical, Left to Right, Front to Back) 모두 진동 스펙(9절)을 만족합니다. 각 축의 측정 그래프는 14절에 수록하였습니다.
측정 데이터 요약
| 측정 위치 | 진동 스펙 | 측정 축 | 측정 결과 | |
|---|---|---|---|---|
| 바닥 | DVIA-ML1000 | |||
| 1. 바닥 2. DVIA-ML1000 | 9절 참조 | Vertical | ✓ PASS | ✓ PASS |
| Left to Right | ✓ PASS | ✓ PASS | ||
| Front to Back | ✓ PASS | ✓ PASS | ||
UI 프로그램으로 취득한 측정 데이터
Vertical
Vertical — Autospectrum
Left to Right
Left to Right — Autospectrum
Front to Back
Front to Back — Autospectrum
설치 사진
고객사 장비
참고자료
아래 표는 IEST-RP-CC012.2 기준의 진동 수준 분류입니다.
¹ 8–80 Hz(VC-A, VC-B) 또는 1–80 Hz(VC-C~VC-G) 주파수 구간의 1/3 옥타브 대역에서 측정.
² 세부 크기는 마이크로일렉트로닉스 제조 시 폭, 의료·제약 연구 시 입자(세포) 크기 등을 나타내며, 프로브 기술·AFM·나노기술 관련 이미징에는 해당하지 않습니다.
이 표의 정보는 참고용으로 제시됩니다. 대부분의 경우 장비 및 공정의 적용과 진동 요구 사항에 정통한 전문가의 조언을 구할 것을 권장합니다.
