Tier-1 Semiconductor Fabrication Facility Hwaseong NRD Line Bruker FP-III DVIA-P4000 Installation Report
Contents
개요
Tier-1 Semiconductor Fabrication Facility 화성사업장 NRD Line 3F 51bay에 설치된 DVIA-P4000 점검 진행하였습니다.
최초 점검 시, 제진대가 정상작동중임을 확인하였습니다.
제진대 기능상 문제는 없었지만 고객사 요청에 의해 재튜닝 진행하였습니다.
장비 설치 및 IDLE 상태로 점검 및 진동측정 진행하였습니다. 장비 IDLE상태의 진동은 튜닝 및 진동측정에 영향을 줄 수 있습니다.
Data를 VC Curve로 표기 후 진동 수준에 대한 Reference 자료를 제공합니다.
진동 제어 시스템 정보
모델: DVIA-P4000
시리얼 넘버: 039887B
엔지니어
대일시스템 필드엔지니어 이채원
점검 날짜
2025년 10월 28일
설치 장소
Tier-1 Semiconductor Fabrication Facility 화성사업장 NRD Line 3F 51bay
End User
Tier-1 Semiconductor
고객사 장비
Manufacturer: Bruker
Equipment: 3rd Generation Femto-Pulse Laser Repair System
Model: FP-III
장비 스펙
VC-E
장비상태
장비 설치 및 IDLE
진동 측정 장비
10.1) Data Physics DAQ
-Hardware: QUATTRO, Serial Number: 22436
-Software: SignalCalc ACE
10.2) Accelerometer
- PCB Accelerometer
- Model: 393B05
진동 측정 Setup
F Span: 200 Hz
Lines: 3200
Engineering Units: m/s
Window: Hanning
Averaging: FFT Spectrum Averaging
Averaging mode: Exponential, 40
결론
제진대 튜닝 전과 비교하여 전체적인 성능이 향상되었습니다.
측정 결과, 모든 방향에서 일부 구간이 SPEC Out으로 나타났으며, 이는 장비의 IDLE 상태에서 발생한 진동으로 추정됩니다.
측정 데이터
| 측정 장소 | 상태 | 방향 | 진동 스펙 | 측정값 | 측정 결과 |
|---|---|---|---|---|---|
| --- | --- | --- | --- | Before Tuning | After Tuning |
| Tier-1 Semiconductor Fabrication Facility 화성사업장 NRD Line 3F 51bay 1. Before tuning 2. After tuning | 장비 설치/IDLE | Vertical | VC-E | VC-B @ 80 Hz | VC-C @ 80 Hz |
| Left to Right | VC-C @ 31.5 Hz | VC-C @ 31.5 Hz | |||
| Front to Back | VC-D @ 16 Hz | VC-E @ 16 Hz |
데이터 및 이미지
Vertical VC Curves
Vertical Autospectrum
Left to Right VC Curves
Left to Right Autospectrum
Front to Back VC Curves
Front to Back Autospectrum
참고자료
Generic Vibration Criteria
참고:
1. VC-A/B는 8-80Hz 1/3 옥타브 대역에서 측정하고, VC-C부터 VC-G는 1-80Hz까지 측정합니다.
2. Detail size는 반도체 제조 공정의 라인 폭 또는 의학 연구의 입자 크기 등을 의미합니다.
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케이스 스터디 정보
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