Tier-1 Semiconductor Fabrication Facility Pyeongtaek P4 Bruker nm-VI DVIA-P4000 Installation Report
Contents
개요
Tier-1 Semiconductor Fabrication Facility 평택사업장 P4 3층 라인에 설치된 DVIA-P4000 튜닝 및 진동측정 진행했습니다.
튜닝 전 에어배관 연결 작업을 진행했습니다.
장비 안착 전 튜닝 및 진동측정 진행하였습니다.
DVIA-P4000을 노트북과 연결하여 UI software을 통해 피드백과 피드포워드 튜닝 및 Data Physics 측정장비를 이용하여 진동측정으로 성능점검을 진행했습니다.
Data를 VC-Curve로 표기 후 진동 수준에 대한 Reference 자료를 제공합니다.
진동 제어 시스템 정보
모델: DVIA-P4000
시리얼 넘버: 230926R1
엔지니어
대일시스템 이채원
튜닝 날짜
2024년 09월 26일
설치 장소
Tier-1 Semiconductor Fabrication Facility 평택 P4 3층 라인
고객사 장비
Manufacturer: Bruker
Equipment: nm-VI
Model: Photomask repair
장비 진동 스펙
VC-D
장비 상태
Equipment is uninstalled
튜닝 횟수
1회차
진동 측정 장비
Brüel & Kjær LAN-XI DAQ Type 3050
Hardware: B&K Front End Type 3050-A-040
Software: B&K Pulse Labshop 22 Version
Accelerometer
PCB Accelerometer
Model: 393B05
진동 측정 Setup
Bandwidth: 200 Hz
Lines: 800
Averaging: Spectrum Averaging
Engineering Units: m/s^2
Window: Hanning
Overlap: Max
결론
모든 방향에서 진동 스펙을 만족합니다.
측정 데이터
| 측정 장소 | 상태 | 방향 | 진동 스펙 | 측정 값 | 결과 | ||
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 하부패드 | DVIA-P4000 | 하부패드 | DVIA-P4000 | ||||
| FAB 1. 하부패드 2. DVIA-P4000 | Equipment is uninstalled. | Vertical | 6.25E-06 m/s (VC-D) | 2.59E-06 m/s @ 31.5 Hz | 2.28E-07 m/s @ 31.5 Hz | ✓ PASS | ✓ PASS |
| Left to Right | 6.25E-06 m/s (VC-D) | 8.45E-06 m/s @ 80 Hz | 1.85E-07 m/s @ 80 Hz | ✗ FAIL | ✓ PASS | ||
| Front to Back | 6.25E-06 m/s (VC-D) | 5.33E-06 m/s @ 50 Hz | 1.94E-07 m/s @ 5 Hz | ✓ PASS | ✓ PASS | ||
데이터 및 이미지
Vertical VC Curves
Left to Right VC Curves
Front to Back VC Curves
참고자료
일반 진동 기준
참고:
- VC-A/B는 8-80 Hz, VC-C~VC-G는 1-80 Hz 범위의 1/3 옥타브 밴드에서 측정.
- 세부 크기는 마이크로일렉트로닉스 제조에서의 선폭 또는 의료 연구에서의 입자 크기를 의미.
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케이스 스터디 정보
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