본문으로 바로가기
설치 보고서
DVIA-P Series
04-03-2026

Tier-1 Semiconductor Fabrication Facility Pyeongtaek P4 3F Line B05 Bruker NM-VI DVIA-P4000 Installation Report

DVIA-P Series
Installation Report
Tier-1 Semiconductor Fabrication Facility
Bruker
nm-VI

Contents

개요

Tier-1 Semiconductor Fabrication Facility 평택사업장 P4 3층 Line B05에 설치된 DVIA-P4000 컨트롤러에 이상이 발생하여 컨트롤러 교체 후 튜닝 및 진동측정 진행하였습니다.

본 이슈는 2025년 8월 18일 발생했던 문제의 재발로 판단되며, 동일 문제가 다시 발생하는지에 대한 모니터링이 필요합니다.

동일 문제 재발 여부 확인을 위해 지속적인 모니터링이 필요하며, 한 달 후 재방문하여 컨트롤러 이상 여부를 점검할 예정입니다.

장비 Turned on/IDLE 상태로 튜닝 및 진동 측정 진행하였습니다.

Data를 VC Curve로 표기 후 진동 수준에 대한 Reference 자료를 제공합니다.

제진대

모델: DVIA-P4000

시리얼 넘버: 230207R1

엔지니어

대일시스템 필드엔지니어 이채원

튜닝 날짜

2026년 4월 01일

설치 장소

Tier-1 Semiconductor Fabrication Facility 평택 P4 3F Line B05

최종 사용자

Tier-1 Semiconductor

고객사 장비

Manufacturer: Bruker

Equipment: NM-VI

Model: Photomask repair

장비 스펙

VC-D

장비상태

장비 설치 및 Turned on/IDLE

진동 측정 장비

10.1) Data Physics DAQ

Hardware: QUATTRO, Serial Number: 22436

Software: SignalCalc ACE

10.2) Accelerometer

PCB Accelerometer

Model: 393B05

진동 측정 Setup

F Span: 200 Hz

Lines: 3200

Engineering Units: m/s

Window: Hanning

Averaging: FFT Spectrum Averaging

Averaging mode: Exponential, 40

결론

컨트롤러 교체 후 제진대 정상 작동을 확인하였습니다.

모든 방향에서 진동 스펙을 만족합니다.

약 한달 후 방문 점검을 통해 재발여부 확인과 고품 컨트롤러의 정상작동 여부 확인이 필요합니다.

측정 데이터

측정 장소상태진동 스펙방향바닥진동DVIA-P4000바닥진동DVIA-P4000
삼성전자 P4 Line 3F B05
1. 바닥진동
2. DVIA-P4000		Turned on/ IDLEVC-DVerticalVC-D @ 50 HzVC-F @ 50 Hz✓ PASS✓ PASS
삼성전자 P4 Line 3F B05
1. 바닥진동
2. DVIA-P4000		Turned on/ IDLEVC-DLeft to RightVC-C @ 20 HzVC-F @ 20 Hz✗ FAIL✓ PASS
삼성전자 P4 Line 3F B05
1. 바닥진동
2. DVIA-P4000		Turned on/ IDLEVC-DFront to BackVC-D @ 80 HzVC-G @ 80 Hz✓ PASS✓ PASS

데이터 및 이미지

Vertical VC Curves

Left to Right VC Curves

Front to Back VC Curves

참고자료

기준 곡선설명진폭
μm/s (µin/s)		Detail Size
μm
Workshop (ISO)Distinctly perceptible vibration. Appropriate to workshops and non-sensitive areas.800 (32,000)N/A
Office (ISO)Perceptible vibration. Appropriate to offices and non-sensitive areas.400 (16,000)N/A
Residential Area (ISO)Barely perceptible vibration. Appropriate to sleep areas in most instances.200 (8,000)75
Operating Theatre (ISO)Vibration not perceptible. Suitable for surgical suites, microscopes to 100x.100 (4,000)25
VC-AAdequate for optical microscopes to 400x, microbalances, optical balances.50 (2,000)8
VC-BAppropriate for inspection and lithography equipment to 3μm line widths.25 (1,000)3
VC-CAppropriate for optical microscopes to 1000x, lithography equipment to 1μm.12.5 (500)1 - 3
VC-DSuitable for demanding equipment including electron microscopes (SEMs/TEMs).6.25 (250)0.1 - 0.3
VC-EFor the most demanding systems including E-Beam lithography at nanometer scales.3.12 (125)< 0.1
VC-FFor extremely quiet research spaces. Not recommended as design criterion.1.56 (62.5)N/A
VC-GFor extremely quiet research spaces. Not recommended as design criterion.0.78 (31.25)N/A

참고:

1. VC-A/B는 8–80 Hz 1/3 옥타브 밴드에서 측정하고, VC-C–G는 1–80 Hz에서 측정합니다.

2. Detail size는 반도체 제조의 라인 폭 또는 의학 연구의 입자 크기를 의미합니다.

이 케이스 스터디 공유하기

케이스 스터디 정보

카테고리
설치 보고서
시리즈DVIA-P Series
작성일04-03-2026
태그
DVIA-P Series
Installation Report
Tier-1 Semiconductor Fabrication Facility
Bruker
nm-VI

관련 케이스 스터디

Tier-1 Semiconductor Fabrication Facility Pyeongtaek P4 Bruker nm-VI DVIA-P4000 Installation Report
DVIA-P Series

Tier-1 Semiconductor Fabrication Facility Pyeongtaek P4 Bruker nm-VI DVIA-P4000 Installation Report

05-21-2026자세히
Tier-1 Semiconductor Fabrication Facility Pyeongtaek P4 Bruker nm-VI DVIA-P4000 Installation Report
DVIA-P Series

Tier-1 Semiconductor Fabrication Facility Pyeongtaek P4 Bruker nm-VI DVIA-P4000 Installation Report

09-26-2024자세히
Tier-1 Semiconductor Fabrication Facility Hwaseong NRD Line Bruker FP-III DVIA-P4000 Installation Report
DVIA-P Series

Tier-1 Semiconductor Fabrication Facility Hwaseong NRD Line Bruker FP-III DVIA-P4000 Installation Report

10-28-2025자세히