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설치 보고서
DVIA-ULF Series
12-11-2025

69 Ministry of Defense Thermo Fisher Sceintific Prisma Installation Report

DVIA-ULF Series
Installation Report
Thermo Fisher Scientific

개요

DVIA-ULF700 능동형 진동 절연 플랫폼이 적절하게 설치되어 의도한 대로 작동하고 있습니다.

진동 제어 시스템 정보

모델: DVIA-ULF700

시리얼 번호: 251023R8

엔지니어

대일시스템 이채원

튜닝 날짜

2025년 12월 11일

최종 사용자

69 Ministry of Defense

튜닝 시도 횟수

1차 튜닝

위치

베트남 호치민

장비

제조사: Thermo Fisher Scientific

장비: SEM

모델: Prisma

장비 상태

장비 전원 켜짐/유휴 상태

측정 요약

측정 지점상태측정 데이터
FloorDVIA-ULF700
1. 바닥
2. DVIA-ULF700
Prisma 설치됨/전원 꺼짐수직VC-D
@ 3.15 Hz
VC-G
@ 3.15 Hz
좌우VC-E
@ 3.15 Hz
VC-G
@ 3.15 Hz
전후VC-E
@ 2 Hz
VC-G
@ 2 Hz

UI 프로그램을 통해 얻은 측정 데이터

수직 VC 곡선

수직 오토스펙트럼

수직 전달률

좌우 VC 곡선

좌우 오토스펙트럼

좌우 전달률

전후 VC 곡선

전후 오토스펙트럼

전후 전달률

장비 사진

참조

일반 진동 기준

기준 곡선설명진폭
μm/s (µin/s)
세부 크기
μm
Workshop (ISO)뚜렷하게 감지되는 진동. 작업장 및 비민감 구역에 적합.800 (32,000)N/A
Office (ISO)감지 가능한 진동. 사무실 및 비민감 구역에 적합.400 (16,000)N/A
Residential Area (ISO)거의 감지되지 않는 진동. 대부분의 경우 수면 구역에 적합.200 (8,000)75
Operating Theatre (ISO)감지되지 않는 진동. 수술실, 100배율 현미경에 적합.100 (4,000)25
VC-A400배율 광학현미경, 마이크로밸런스, 광학밸런스에 적합.50 (2,000)8
VC-B3μm 선폭 검사 및 리소그래피 장비에 적합.25 (1,000)3
VC-C1000배율 광학현미경, 1μm 리소그래피 장비에 적합.12.5 (500)1 - 3
VC-D전자현미경(SEM/TEM) 등 까다로운 장비에 적합.6.25 (250)0.1 - 0.3
VC-E나노미터 스케일 E-Beam 리소그래피 등 가장 까다로운 시스템용.3.12 (125)< 0.1
VC-F극도로 조용한 연구 공간용. 설계 기준으로는 권장되지 않음.1.56 (62.5)N/A
VC-G극도로 조용한 연구 공간용. 설계 기준으로는 권장되지 않음.0.78 (31.25)N/A

참고:

- VC-A/B는 8-80 Hz, VC-C~VC-G는 1-80 Hz 범위의 1/3 옥타브 밴드에서 측정.

- 세부 크기는 마이크로일렉트로닉스 제조에서의 선폭 또는 의료 연구에서의 입자 크기를 의미.

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케이스 스터디 정보

카테고리
설치 보고서
시리즈DVIA-ULF Series
작성일12-11-2025
태그
DVIA-ULF Series
Installation Report
Thermo Fisher Scientific