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설치 보고서
DVIA-ULF Series
12-12-2025

69 Ministry of Defense Thermo Fisher Scientific SEM Prisma DVIA-ULF700 Installation Report — Ho Chi Minh (251023R8)

DVIA-ULF Series
Installation Report
Thermo Fisher Scientific
SEM Prisma
Vietnam
DVIA-ULF700
251023R8

목차

준비 대상

69 Ministry of Defense

작성 정보

Engineer: Chaewon Lee

Tuning date: 25.12.11

Report written date: 25.12.12

개요

The DVIA-ULF700 active vibration isolation platform is appropriately installed and functioning as intended.

진동 절연 시스템 정보

Model: DVIA-ULFB700

Serial Number: 251023R8

엔지니어

DAEIL SYSTEMS 이채원

튜닝 날짜

2025년 12월 11일

최종 사용자

69 Ministry of Defencse

튜닝 시도 횟수

1st

위치

Ho chi Minh, Vietnam

장비

Manufacturer: Thermo Fisher Scientific

Equipment: SEM

Model: Prisma

장비 상태

The equipment is turned on/IDLE

측정 요약

측정 지점상태축바닥DVIA-ULF700
1.Floor
2.DVIA-ULF700		Prisma installed/turned off수직VC-D
@ 3.15 Hz		VC-G
@ 3.15 Hz
좌우VC-E
@ 3.15 Hz		VC-G
@ 3.15 Hz
전후VC-E
@ 2 Hz		VC-G
@ 2 Hz

UI 프로그램을 통해 얻은 측정 데이터

수직 VC 곡선

수직 Autospectrum

수직 전달률

좌우 VC 곡선

좌우 Autospectrum

좌우 전달률

전후 VC 곡선

전후 Autospectrum

전후 전달률

장비 사진

참조

일반 진동 기준

기준 곡선설명진폭
μm/s (µin/s)		세부 크기
μm
작업장 (ISO)명확하게 감지되는 진동. 작업장 및 비민감 구역에 적합.800 (32,000)해당 없음
사무실 (ISO)감지 가능한 진동. 사무실 및 비민감 구역에 적합.400 (16,000)해당 없음
주거 지역 (ISO)거의 감지되지 않는 진동. 대부분의 경우 수면 구역에 적합.200 (8,000)75
수술실 (ISO)감지되지 않는 진동. 수술실, 100배 현미경에 적합.100 (4,000)25
VC-A400배 광학 현미경, 마이크로 저울, 광학 저울에 적합.50 (2,000)8
VC-B3μm 선폭의 검사 및 리소그래피 장비에 적합.25 (1,000)3
VC-C1000배 광학 현미경, 1μm 리소그래피 장비에 적합.12.5 (500)1 - 3
VC-D전자 현미경(SEM/TEM) 포함 고정밀 장비에 적합.6.25 (250)0.1 - 0.3
VC-E나노미터 스케일의 E-Beam 리소그래피 등 최고 정밀 시스템용.3.12 (125)< 0.1
VC-F극도로 조용한 연구 공간용. 설계 기준으로 권장되지 않음.1.56 (62.5)해당 없음
VC-G극도로 조용한 연구 공간용. 설계 기준으로 권장되지 않음.0.78 (31.25)해당 없음

*참고:*

- 8-80 Hz (VC-A/B) 또는 1-80 Hz (VC-C ~ VC-G)에서 1/3 옥타브 밴드로 측정.

- 세부 크기는 마이크로일렉트로닉스 제조의 선폭 또는 의료 연구의 입자 크기를 의미.

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케이스 스터디 정보

카테고리
설치 보고서
시리즈DVIA-ULF Series
작성일12-12-2025
태그
DVIA-ULF Series
Installation Report
Thermo Fisher Scientific
SEM Prisma
Vietnam
DVIA-ULF700
251023R8

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