설치 보고서
DVIA-M Series
01-13-2026
ZEISS Sigma 300 FE-SEM DVIA-ML1000 Installation Report (YIMO, 2026-01-13)
DVIA-M Series
Installation Report
YIMO
ZEISS
Sigma 300
FE-SEM
DVIA-ML1000
개요
DVIA-ML1000 능동 제진대는 의도대로 설치·작동합니다.
1차 튜닝, ZEISS Sigma 300 FE-SEM(시리얼 250923R2), 측정 시 On/IDLE.
YIMO 양식. End user, 설치지: N/A.
진동 제어 시스템
모델: DVIA-ML1000 / 시리얼: 250923R2
엔지니어
이채원 — 대일시스템
튜닝 날짜
2026년 1월 13일
보고서 작성일
2026년 1월 13일
End User
N/A
튜닝 횟수
1차
Location
N/A
고객사 장비
제조사: ZEISS / FE-SEM / Model: Sigma 300
진동 사양
FE-SEM에 대해 허용 진동 기준이 YIMO 보고서에 다이어그램으로 수록됨(아래).
허용 진동 다이어그램
장비 상태
On/IDLE(가동·대기)
튜닝 요청
N/A
데이터·이미지
진동 사양 그림(위)과 UI 프로그램 측정: 수직·좌우·전후 각 Autospectrum과 Transmissibility(6), 이어지는 장비 사진(1장).
수직 Autospectrum
수직 전달률
좌우 Autospectrum
좌우 전달률
전후 Autospectrum
전후 전달률
장비 사진
Reference
일반 진동 기준
참고:
- VC-A/B는 8-80 Hz, VC-C~VC-G는 1-80 Hz 범위의 1/3 옥타브 밴드에서 측정.
- 세부 크기는 마이크로일렉트로닉스 제조에서의 선폭 또는 의료 연구에서의 입자 크기를 의미.
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케이스 스터디 정보
카테고리
설치 보고서
시리즈DVIA-M Series
작성일01-13-2026
태그
DVIA-M Series
Installation Report
YIMO
ZEISS
Sigma 300
FE-SEM
DVIA-ML1000
