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설치 보고서
DVIA-M Series
03-04-2026

Thermo Fisher Scientific Helios 5 FIB-SEM DVIA-ML1000 Installation Report

DVIA-M Series
Installation Report
Thermo Fisher Scientific
Thermo Fisher
Helios 5
FIB-SEM
DVIA-ML1000

개요

DVIA-ML1000가 Thermo Fisher Helios 5 FIB-SEM(시리얼 250904R2), 1차 튜닝에서 의도대로 설치·작동. 장비 Turned on/IDLE.

제진대

DVIA-ML1000 / 250904R2

엔지니어

이채원(대일시스템)

튜닝 날짜

2026년 3월 4일

보고서 작성일

2026년 3월 23일

End User

N/A

튜닝 횟수

1차

Location

N/A

장비

Thermo Fisher / FIB-SEM / Helios 5

진동 사양

No HWL: V VC-F, H VC-G / With HWL: V VC-E, H VC-F

장비 상태 Turned on/IDLE

튜닝 요청 N/A

측정 요약

바닥은 일부 밴드에서 FAIL, 제진대 상부는 전 축 PASS.

데이터·이미지

수직·좌우·전후 각 VC / Autospectrum / Transmissibility (9). 별도 장비 사진·Reference(VC 표)는 패키지에 포함될 수 있음.

수직 VC-curves

수직 Autospectrum

수직 전달률

좌우 VC-curves

좌우 Autospectrum

좌우 전달률

전후 VC-curves

전후 Autospectrum

전후 전달률

Reference

일반 진동 기준

기준 곡선설명진폭
μm/s (µin/s)		세부 크기
μm
Workshop (ISO)뚜렷하게 체감할 수 있는 진동 수준. 워크숍 및 민감하지 않은 구역에 적합.800 (32,000)N/A
Office (ISO)인지 가능한 수준의 진동. 사무 공간 및 기타 민감하지 않은 환경에 적합.400 (16,000)N/A
Residential Area (ISO)거의 느껴지지 않는 수준의 진동. 대부분의 수면 공간에 적절.200 (8,000)75
Operating Theatre (ISO)진동이 감지되지 않는 수준. 외과 수술실, 100배율 이하 현미경에 적합.100 (4,000)25
VC-A400배율 광학 현미경, 미세 저울, 광학 저울에 적합.50 (2,000)8
VC-B3μm 선폭 검사 및 리소그래피 장비에 적합.25 (1,000)3
VC-C1000배율 광학 현미경, 1μm 리소그래피 장비에 적합.12.5 (500)1 - 3
VC-D전자현미경(SEM/TEM) 등 까다로운 장비에 적합.6.25 (250)0.1 - 0.3
VC-E나노미터 스케일 E-Beam 리소그래피 등 가장 까다로운 시스템용.3.12 (125)< 0.1
VC-F극도로 조용한 연구 공간용. 설계 기준으로는 권장되지 않음.1.56 (62.5)N/A
VC-G극도로 조용한 연구 공간용. 설계 기준으로는 권장되지 않음.0.78 (31.25)N/A

참고:

- VC-A/B는 8-80 Hz, VC-C~VC-G는 1-80 Hz 범위의 1/3 옥타브 밴드에서 측정.

- 세부 크기는 마이크로일렉트로닉스 제조에서의 선폭 또는 의료 연구에서의 입자 크기를 의미.

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케이스 스터디 정보

카테고리
설치 보고서
시리즈DVIA-M Series
작성일03-04-2026
태그
DVIA-M Series
Installation Report
Thermo Fisher Scientific
Thermo Fisher
Helios 5
FIB-SEM
DVIA-ML1000

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