설치 보고서
DVIA-ULF Series
12-11-2025
Northern Huachuang TESCAN CLARA DVIA-ULF700 (250902R6) installation report — 2025-12-11
DVIA-ULF Series
Installation Report
TESCAN
SEM
CLARA
Northern Huachuang
250902R6
Beijing
목차
개요
TESCAN CLARA 시스템 leveling foot 아래에 DVIA-ULF700 유닛이 설치되었으며, 튜닝이 수행되었습니다.
클라(cooler)가 유닛 위에 바로 장착되어 있었으며, 클라에서 발생하는 진동이 유닛으로 전달되어 ULF700 성능을 크게 저해할 수 있었습니다.
튜닝 이후 VC-G 수준이 측정되었으며, 정상 장비 운영에 큰 문제는 없을 것으로 예상합니다.
진동 제어 시스템 정보
모델: DVIA-ULF700
시리얼 번호: 250902R6
엔지니어
Chaewon Lee DAEIL SYSTEMS
튜닝 날짜
2025년 12월 10일
최종 사용자
Northern Huachuang
튜닝 시도 횟수
1st
위치
베이징, 중국
장비
제조사: TESCAN
장비: SEM
모델: CLARA
장비 상태
The equipment is turned on/IDLE
튜닝 요청
측정 요약
| 측정 지점 | 상태 | 축 | 측정 데이터 | |
|---|---|---|---|---|
| 바닥 | DVIA-ULF700 | |||
| 1. Floor 2. DVIA-ULF700 | CLARA is turned on/IDLE | 수직 | VC-C @ 40 Hz | VC-G @ 40 Hz |
| 좌우 | VC-F @ 12.5 Hz | VC-G @ 12.5 Hz | ||
| 전후 | VC-F @ 12.5 Hz | VC-G @ 12.5 Hz | ||
UI 프로그램을 통해 얻은 측정 데이터
수직 VC 곡선
수직 오토스펙트럼
수직 전달률
좌우 VC 곡선
좌우 오토스펙트럼
좌우 전달률
전후 VC 곡선
전후 오토스펙트럼
전후 전달률
장비 사진
Photo Not Allowed
참조
일반 진동 기준
참고:
- VC-A/B는 8-80 Hz, VC-C~VC-G는 1-80 Hz 범위의 1/3 옥타브 밴드에서 측정.
- 세부 크기는 마이크로일렉트로닉스 제조에서의 선폭 또는 의료 연구에서의 입자 크기를 의미.
이 케이스 스터디 공유하기
케이스 스터디 정보
카테고리
설치 보고서
시리즈DVIA-ULF Series
작성일12-11-2025
태그
DVIA-ULF Series
Installation Report
TESCAN
SEM
CLARA
Northern Huachuang
250902R6
Beijing
관련 케이스 스터디
DVIA-ULF Series
NAURA Technology Group Beijing TESCAN CLARA FE-SEM DVIA-ULF700 (250902R6) installation report — 2026-04-13
04-13-2026자세히
DVIA-ULF Series
Korea Institute of Science and Technology TESCAN Clara FE-SEM DVIA-ULFB700 Installation Report
07-06-2026자세히
DVIA-ULF Series
Shanghai Opotong Thermo Scientific Axia SEM DVIA-ULFB700 Installation Report
05-14-2026자세히