설치 보고서
DVIA-ULF Series
04-13-2026
NAURA Technology Group Beijing TESCAN CLARA FE-SEM DVIA-ULF700 (250902R6) installation report — 2026-04-13
DVIA-ULF Series
Installation Report
NAURA Technology Group
TESCAN
CLARA
FE-SEM
Beijing
DVIA-ULF700
250902R6
목차
개요
재튜닝 후 DVIA-ULF700 능동형 진동 절연 플랫폼이 의도한 대로 적절히 작동하고 있습니다.
진동 절연 시스템 정보
모델: DVIA-ULF700
시리얼 번호: 250902R6
엔지니어
Chaewon Lee DAEIL SYSTEMS
튜닝 날짜
2026년 4월 13일
최종 사용자
NAURA Technology Group
튜닝 시도 횟수
2nd(1st: 25.12.10)
위치
Beijing, China
장비
제조사: TESCAN
장비: FE-SEM
모델: CLARA
진동 사양
장비 상태
The equipment is turned on/IDLE
튜닝 요청
측정 요약
| 측정 지점 | 상태 | 축 | Vibration Specification | Floor RMS (μm/s) | DVIA-ULF700 RMS (μm/s) | Floor 결과 | DVIA-ULF700 결과 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 1.Floor 2.DVIA-ULF700 | Equipment is Turned on/IDLE | Vertical | Based on Vibration Specification Pneumatic | 7.21 @ 14.7 Hz | 0.08 @ 14.7 Hz | ✗ FAIL | ✓ PASS |
| Left to Right | 3.33 @ 14.8 Hz | 0.025 @ 14.8 Hz | ✓ PASS | ✓ PASS | |||
| Front to Back | 0.86 @ 14.8 Hz | 0.004 @ 14.8 Hz | ✓ PASS | ✓ PASS |
UI 프로그램을 통해 얻은 측정 데이터
수직 VC 곡선
수직 오토스펙트럼
수직 전달률
좌우 VC 곡선
좌우 오토스펙트럼
좌우 전달률
전후 VC 곡선
전후 오토스펙트럼
전후 전달률
13. 참조
일반 진동 기준
| 기준 곡선 | 설명 | 진폭 µm/s (µin/s) | 세부 크기 µm |
|---|---|---|---|
| Workshop (ISO) | 뚜렷하게 감지되는 진동. 작업장 및 비민감 구역에 적합. | 800 (32,000) | N/A |
| Office (ISO) | 감지 가능한 진동. 사무실 및 비민감 구역에 적합. | 400 (16,000) | N/A |
| Residential Area (ISO) | 거의 감지되지 않는 진동. 대부분의 경우 수면 구역에 적합. | 200 (8,000) | 75 |
| Operating Theatre (ISO) | 감지되지 않는 진동. 수술실, 100배율 현미경에 적합. | 100 (4,000) | 25 |
| VC-A | 400배율 광학현미경, 마이크로밸런스, 광학밸런스에 적합. | 50 (2,000) | 8 |
| VC-B | 3μm 선폭 검사 및 리소그래피 장비에 적합. | 25 (1,000) | 3 |
| VC-C | 1000배율 광학현미경, 1μm 리소그래피 장비에 적합. | 12.5 (500) | 1 - 3 |
| VC-D | 전자현미경(SEM/TEM) 등 까다로운 장비에 적합. | 6.25 (250) | 0.1 - 0.3 |
| VC-E | 나노미터 스케일 E-Beam 리소그래피 등 가장 까다로운 시스템용. | 3.12 (125) | < 0.1 |
| VC-F | 극도로 조용한 연구 공간용. 설계 기준으로는 권장되지 않음. | 1.56 (62.5) | N/A |
| VC-G | 극도로 조용한 연구 공간용. 설계 기준으로는 권장되지 않음. | 0.78 (31.25) | N/A |
참고:
VC-A/B는 8-80 Hz, VC-C~VC-G는 1-80 Hz 범위의 1/3 옥타브 밴드에서 측정.
세부 크기는 마이크로일렉트로닉스 제조에서의 선폭 또는 의료 연구에서의 입자 크기를 의미.
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케이스 스터디 정보
카테고리
설치 보고서
시리즈DVIA-ULF Series
작성일04-13-2026
태그
DVIA-ULF Series
Installation Report
NAURA Technology Group
TESCAN
CLARA
FE-SEM
Beijing
DVIA-ULF700
250902R6
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