설치 보고서
DVIA-M Series
12-17-2025
Safran JEOL JSM-IT800 DVIA-ML1000 Installation Report
DVIA-M Series
Installation Report
Safran
JEOL
JSM-IT800
SEM
DVIA-ML1000
1. 제진대
DVIA-ML1000 / 250829R2
2. 엔지니어
이채원, Kyongdan Kim
3. 튜닝
2025-12-17
4. 설치
Safran Transmission System LAB, Colombes, France
5. 장비
JEOL / SEM / JSM-IT800
6. 장비 상태
제진대 상 설치, On/IDLE
7. 튜닝
1차
8. 측정 장비
QUATTRO(22436) + SignalCalc ACE, PCB 393B05
9. 측정 Setup
Bandwidth 625 Hz, Lines 3200, m/s, Hanning, Overlap Max
10. 진동 사양
장비 측 수치형 스펙 표는 별도 없음. 결론·측정 요약을 기준으로 평가.
11. 결론
전 방향 사양·측정 해석 충족. 고주파에서 상부 > 바닥 구간은 장비 기인 진동으로 해석; 바닥 전달 효과와 상부 설비 측 한계를 구분.
12. 측정 요약
아래 표
| 측정 | 상태 | 방향 | 바닥 | 제진대 | 바닥 결과 | 제진대 결과 |
|---|---|---|---|---|---|---|
| Safran LAB | On/IDLE | 수직 | VC-C @ 12.5 | VC-G @ 12.5 | ✓ PASS | ✓ PASS |
| 좌우 | VC-E @ 10 | VC-G @ 10 | ✓ PASS | ✓ PASS | ||
| 전후 | VC-F @ 100 | VC-G @ 100 | ✓ PASS | ✓ PASS |
13. 데이터·이미지 — 수직·좌우·전후 VC / Autospectrum / Transmissibility
수직 VC-curves
수직 Autospectrum
수직 전달률
좌우 VC-curves
좌우 Autospectrum
좌우 전달률
전후 VC-curves
전후 Autospectrum
전후 전달률
Reference
일반 진동 기준
참고:
- VC-A/B는 8-80 Hz, VC-C~VC-G는 1-80 Hz 범위의 1/3 옥타브 밴드에서 측정.
- 세부 크기는 마이크로일렉트로닉스 제조에서의 선폭 또는 의료 연구에서의 입자 크기를 의미.
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케이스 스터디 정보
카테고리
설치 보고서
시리즈DVIA-M Series
작성일12-17-2025
태그
DVIA-M Series
Installation Report
Safran
JEOL
JSM-IT800
SEM
DVIA-ML1000
