설치 보고서
DVIA-P Series
01-12-2026
Seoul National University JEOL JBX-8100FS DVIA-P4000 Installation Report
DVIA-P Series
Installation Report
Seoul National University
JEOL
JBX-8100FS
Contents
개요
서울대학교 반도체공동연구소 클린룸 C2-4에 설치된 DVIA-P4000 튜닝 및 진동측정 진행하였습니다.
장비 Turned off 상태로 튜닝 및 진동측정 진행하였습니다.
Data를 VC Curve로 표기 후 진동 수준에 대한 Reference 자료를 제공합니다.
진동 제어 시스템 정보
모델: DVIA-P4000
시리얼 넘버: 250808R1
엔지니어
대일시스템 필드엔지니어 이채원
점검 날짜
2026년 01월 12일
설치 장소
N/A
End User
서울대학교
고객사 장비
Manufacturer: JEOL
Equipment: Electron Beam Lithography
Model: JBX-8100FS
장비 스펙
장비 상태
장비 설치 및 Turned off
진동 측정 장비
10.1) Data Physics DAQ
-Hardware: QUATTRO, Serial Number: 22436
-Software: SignalCalc ACE
10.2) Accelerometer
- PCB Accelerometer
- Model: 393B05
진동 측정 Setup
F Span: 200 Hz
Lines: 3200
Engineering Units: m/s
Window: Hanning
Averaging: FFT Spectrum Averaging
Averaging mode: Exponential, 40
결론
모든 방향에서 진동스펙을 만족합니다.
측정 데이터
| 측정 장소 | 상태 | 방향 | 측정값 | 측정값 | 결과 | 결과 |
|---|---|---|---|---|---|---|
| 측정 장소 | 상태 | 방향 | Floor | DVIA-P4000 | Floor | DVIA-P4000 |
| 서울대학교 반도체공동연구소 클린룸 C2-4 1. Floor 2. DVIA-P4000 | Turned off | Vertical | VC-B @ 63 Hz | VC-E @ 63 Hz | ✗ FAIL | ✓ PASS |
| Left to Right | VC-D @ 63 Hz | VC-G @ 63 Hz | ✗ FAIL | ✓ PASS | ||
| Front to Back | VC-D @ 63 Hz | VC-G @ 63 Hz | ✓ PASS | ✓ PASS |
데이터 및 이미지
Vertical VC Curves
Vertical Autospectrum
Vertical Transmissibility
Left to Right VC Curves
Left to Right Autospectrum
Left to Right Transmissibility
Front to Back VC Curves
Front to Back Autospecturm
Front to Back Transmissibility
참고자료
일반 진동 기준
참고:
1. VC-A/B는 8–80 Hz의 1/3 옥타브 대역에서, VC-C부터 VC-G는 1–80 Hz에서 측정합니다.
2. Detail size는 반도체 제조의 라인 폭 또는 의학 연구의 입자 크기를 가리킵니다.
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케이스 스터디 정보
카테고리
설치 보고서
시리즈DVIA-P Series
작성일01-12-2026
태그
DVIA-P Series
Installation Report
Seoul National University
JEOL
JBX-8100FS
