Tier-1 Semiconductor Giheung SR1 BRUKER Photomask Repair System RAVE NM-VI DVIA-P4000 Installation Report
Contents
개요
Tier-1 Semiconductor 기흥사업장 SR1동에 설치된 DVIA-P4000의 이상작동이 의심되어 튜닝 및 점검 진행하였습니다.
장비 Turned on/IDLE 상태에서 진동측정 및 튜닝 진행하였습니다.
Data를 VC Curve로 표기 후 진동 수준에 대한 Reference 자료를 제공합니다.
제진대
모델: DVIA-P4000
시리얼 넘버: 200805R3
엔지니어
대일시스템 필드엔지니어 이채원
측정 날짜
2025년 08월 01일
설치 장소
Tier-1 Semiconductor 기흥사업장 SR1동 2층 클린룸
End User
Tier-1 Semiconductor
장비 상태
장비설치/IDLE
고객사 장비
Manufacturer: BRUKER
Equipment: Photomask Repair System
Model: RAVE NM-VI
진동 스펙
-
진동 측정 장비
10.1) Data Physics DAQ
-Hardware: QUATTRO, Serial Number: 22436
-Software: SignalCalc ACE
10.2) Accelerometer
- PCB Accelerometer
- Model: 393B05
진동 측정 Setup
F Span: 200
Lines: 3200
Engineering Units: m/s
Window: Hanning
Averaging: FFT Spectrum Averaging
Average Mode: Exponential, 40
결론
모든 방향에서 진동 스펙을 만족합니다.
측정 데이터
| 측정 장소 | 상태 | 방향 | 바닥진동 | DVIA-P4000 |
|---|---|---|---|---|
| Tier-1 Semiconductor 기흥사업장 SR1동 2층 클린룸 1. Floor 2. DVIA-P4000 | 장비Turned on/IDLE | Vertical | VC-B @ 63 Hz | VC-E @ 63 Hz |
| Left to Right | VC-A @ 63 Hz | VC-G @ 63 Hz | ||
| Front to Back | VC-B @ 63 Hz | VC-F @ 63 Hz |
데이터&이미지
Vertical VC Curves
Vertical Autospectrum
Vertical Transmissibility
Left to Right VC Curves
Left to Right Autospectrum
Left to Right Transmissibility
Front to Back VC Curves
Front to Back Autospecturm
Front to Back Transmissibility
참고자료
일반 진동 기준
참고:
- VC-A/B는 8-80 Hz, VC-C~VC-G는 1-80 Hz 범위의 1/3 옥타브 밴드에서 측정.
- 세부 크기는 마이크로일렉트로닉스 제조에서의 선폭 또는 의료 연구에서의 입자 크기를 의미.
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케이스 스터디 정보
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