Mutec Korea DVIA-T76 (250715R2) Inspection Report
Contents
작성자
엔지니어: 이채원
측정 날짜
2025년 10월 31일
보고서 작성일
2025년 10월 31일
개요
뮤텍코리아 1F 클린룸에 설치된 DVIA-T76 점검 진행하였습니다.
장비가 최고속도로 움직일 경우 제진대의 Settling time이 매우 길었습니다. 이를 해결하기 위해 튜닝을 진행하였습니다.
장비 설치 및 Turned on 상태로 튜닝 및 진동측정 진행하였습니다.
Data를 VC Curve로 표기 후 진동 수준에 대한 Reference 자료를 제공합니다.
제진대
모델: DVIA-T76
시리얼 넘버: 250715R2
엔지니어
대일시스템 필드엔지니어 이채원
점검 날짜
2025년 10월 31일
설치 장소
뮤텍코리아 1F 클린룸
End User
뮤텍코리아
고객사 장비
Manufacturer: 뮤텍코리아
Equipment: 반도체검사장비
Model: MG
장비 스펙
-
장비상태
장비 설치 및 Turned on/IDLE
진동 측정 장비
10.1) Data Physics DAQ
-Hardware: QUATTRO, Serial Number: 22436
-Software: SignalCalc ACE
10.2) Accelerometer
PCB Accelerometer
Model: 393B05
진동 측정 Setup
F Span: 200 Hz
Lines: 3200
Engineering Units: m/s
Window: Hanning
Averaging: FFT Spectrum Averaging
Averaging mode: Exponential, 40
결론
최초 점검 시 Stage를 200m/s로 작동시킬 경우 제진대 상판의 Settling Time이 약 6초 정도로 측정되었습니다.
Settling Time을 줄이기 위해 제진대의 부상 높이를 변경하여 스프링 강성을 높였으며, 튜닝을 통해 제진대의 성능을 끌어 올렸습니다.
튜닝 후 Settling time이 약 2초 정도로 줄어든 것을 확인하였습니다.
측정 데이터
| 측정 장소 | 상태 | 방향 | 바닥진동 | DVIA-T76 |
|---|---|---|---|---|
| 뮤텍코리아 1F 클린룸 1. 바닥진동 2. DVIA-T76 | 장비 설치 및 Turned on/IDLE | Vertical | VC-E @ 16 Hz | VC-G @ 16 Hz |
| Left to Right | VC-C @ 50 Hz | VC-G @ 50 Hz | ||
| Front to Back | VC-C @ 100 Hz | VC-G @ 100 Hz |
데이터&이미지
튜닝 전/후 Settling time 비교
튜닝 전 Settling time(약 6초)
튜닝 후 Settling time(약 2초)
진동측정 데이터
Vertical VC Curves
Vertical Autospectrum
Vertical Transmissibility
Left to Right VC Curves
Left to Right Autospectrum
Left to Right Transmissibility
Front to Back VC Curves
Front to Back Autospectrum
Front to Back Transmissibility
참고자료
참고:
1. VC-A/B is measured in 1/3 octave bands from 8-80 Hz, VC-C through VC-G from 1-80 Hz.
2. Detail size refers to line widths in microelectronics manufacturing or particle sizes in medical research.
