설치 보고서
DVIA-P Series
10-20-2025
Techsend Photomask CLB ZEISS MeRiT MG neo DVIA-P2200 Installation Report
DVIA-P Series
Installation Report
Techsend Photomask
ZEISS
MeRiT MG neo
DVIA-P2200
X-ray Microscope
Contents
개요
테크센드 포토마스크 CLB에 설치된 DVIA-P2200의 튜닝 및 진동측정 진행하였습니다.
장비 설치 후 Turned on 상태로 튜닝 및 진동 측정을 진행하였습니다.
Data를 VC Curve로 표기 후 진동 수준에 대한 Reference 자료를 제공합니다.
진동 제어 시스템 정보
모델: DVIA-P2200
시리얼 넘버: 250626R1
엔지니어
대일시스템 개발팀 김대현
측정 날짜
2025년 10월 16일
최종 사용자
테크센드 포토마스크
설치 장소
테크센드 포토마스크
장비 상태
장비 설치 및 Turned on
장비 정보
Manufacturer: ZEISS
Equipment: X-ray Microscope
Model: MeRiT® MG neo
측정 장비
Brüel & Kjær LAN-XI DAQ Type 3050 DAQ
Hardware: B&K Front End Type 3050-B-040
Software: B&K Pulse Labshop 14 Version
Accelerometer
PCB Accelerometer
Model: 393B05
측정 설정
F Span: 1000 Hz
Lines: 6400
Engineering Units: m/s
Window: Hanning
Averaging: FFT Spectrum Averaging
Averaging mode: Exponential, 40
장비 진동 스펙
N/A
결론
모든 방향에서 Spec을 만족합니다.
측정 데이터
| 측정 장소 | 상태 | 진동 스펙 | 방향 | 측정값 | 결과 |
|---|---|---|---|---|---|
| 테크센드 포토마스크 CLB DVIA-P2200 | 장비 설치/Turned on | VC-D | Vertical | VC-E @ 16 Hz | ✓ PASS |
| VC-D | Left to Right | VC-E @ 25 Hz | ✓ PASS | ||
| VC-D | Front to Back | VC-E @ 16 Hz | ✓ PASS |
데이터 및 이미지
Vertical VC Curves
Left to Right VC Curves
Front to Back VC Curves
1/3 Octave Synthesis (top)
참고자료
일반 진동 기준
참고:
1. VC-A/B는 8-80 Hz, VC-C~VC-G는 1-80 Hz 범위의 1/3 옥타브 밴드에서 측정.
2. 세부 크기는 마이크로일렉트로닉스 제조에서의 선폭 또는 의료 연구에서의 입자 크기를 의미.
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카테고리
설치 보고서
시리즈DVIA-P Series
작성일10-20-2025
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DVIA-P Series
Installation Report
Techsend Photomask
ZEISS
MeRiT MG neo
DVIA-P2200
X-ray Microscope
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