설치 보고서

05-19-2025

ZEISS SEM EVO 10 DVIA-M1000(250421R7) 설치 보고서

DVIA-M Series

Installation Report

ZEISS

SEM

EVO 10

DVIA-M1000

개요

DVIA-M1000 능동 제진 플랫폼은 적절히 설치되어 있으며 의도한 대로 작동하고 있다.

진동 제어 시스템 정보

모델: DVIA-M1000

시리얼 넘버: 250421R7

담당 엔지니어

대일시스템 필드엔지니어 이채원

튜닝 일자

2025년 5월 16일

보고서 작성일

2025년 5월 19일

End User

N/A

튜닝 횟수

1st

설치 위치

N/A

장비

제조사: ZEISS

장비: SEM

모델: EVO 10

장비 상태

The equipment is installed/Turned off

Tuning Request

N/A

데이터 및 이미지

수직 전달률

이미지 1 · ZEISS SEM EVO 10 DVIA-M1000(250421R7) 설치 보고서

좌우 전달률

이미지 2 · ZEISS SEM EVO 10 DVIA-M1000(250421R7) 설치 보고서

전후 전달률

이미지 3 · ZEISS SEM EVO 10 DVIA-M1000(250421R7) 설치 보고서

장비 사진

이미지 4 · ZEISS SEM EVO 10 DVIA-M1000(250421R7) 설치 보고서

Reference

일반 진동 기준

기준 곡선	설명	진폭 μm/s (µin/s)	세부 크기 μm
Workshop (ISO)	뚜렷하게 체감할 수 있는 진동 수준. 워크숍 및 민감하지 않은 구역에 적합.	800 (32,000)	N/A
Office (ISO)	인지 가능한 수준의 진동. 사무 공간 및 기타 민감하지 않은 환경에 적합.	400 (16,000)	N/A
Residential Area (ISO)	거의 느껴지지 않는 수준의 진동. 대부분의 수면 공간에 적절.	200 (8,000)	75
Operating Theatre (ISO)	진동이 감지되지 않는 수준. 외과 수술실, 100배율 이하 현미경에 적합.	100 (4,000)	25
VC-A	400배율 광학 현미경, 미세 저울, 광학 저울에 적합.	50 (2,000)	8
VC-B	3μm 선폭 검사 및 리소그래피 장비에 적합.	25 (1,000)	3
VC-C	1000배율 광학 현미경, 1μm 리소그래피 장비에 적합.	12.5 (500)	1 - 3
VC-D	전자현미경(SEM/TEM) 등 까다로운 장비에 적합.	6.25 (250)	0.1 - 0.3
VC-E	나노미터 스케일 E-Beam 리소그래피 등 가장 까다로운 시스템용.	3.12 (125)	< 0.1
VC-F	극도로 조용한 연구 공간용. 설계 기준으로는 권장되지 않음.	1.56 (62.5)	N/A
VC-G	극도로 조용한 연구 공간용. 설계 기준으로는 권장되지 않음.	0.78 (31.25)	N/A

참고:

1. VC-A/B는 8-80 Hz, VC-C~VC-G는 1-80 Hz 범위의 1/3 옥타브 밴드에서 측정.

2. 세부 크기는 마이크로일렉트로닉스 제조에서의 선폭 또는 의료 연구에서의 입자 크기를 의미합니다.

이 케이스 스터디 공유하기

케이스 스터디 정보

카테고리