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설치 보고서
DVIA-P Series
07-09-2025

Tier-1 Semiconductor DVIA-P2200(250115R1-2) Installation Report

DVIA-P Series
Installation Report
Tier-1 Semiconductor
Electro Mechanics
P2200

개요

Tier-1 Semiconductor 수원사업장에 설치된 DVIA-P2200 튜닝 및 진동측정 진행하였습니다.

장비 Turned on/IDLE 상태에서 진동측정 및 튜닝 진행하였습니다.

Data를 VC Curve로 표기 후 진동 수준에 대한 Reference 자료를 제공합니다.

제진대

모델: DVIA-P2200

시리얼 넘버: 250115R1-2

엔지니어

대일시스템 필드엔지니어 이채원

측정 날짜

2025년 07월 09일

설치 장소

Tier-1 Semiconductor 수원사업장 B5 1F 항온항습룸

최종 사용자

Tier-1 Semiconductor

장비 상태

장비설치/IDLE

고객사 장비

Manufacturer: Tier-1 Semiconductor

Equipment: 도금두께 측정기

Model: FCB PSP

진동 스펙

VC-B

진동 측정 장비

10.1) Data Physics DAQ

- Hardware: QUATTRO, Serial Number: 22436

- Software: SignalCalc ACE

10.2) Accelerometer

- PCB Accelerometer

- Model: 393B05

진동 측정 Setup

F Span: 200

Lines: 3200

Engineering Units: m/s

Window: Hanning

Averaging: FFT Spectrum Averaging

Average Mode: Exponential, 40

결론

모든 방향에서 진동 스펙을 만족합니다.

측정 데이터

측정 장소상태방향진동 스펙측정값결과
바닥DVIA-P2200바닥DVIA-P2200
Tier-1 Semiconductor 수원사업장 B5 1F 항온항습룸
1.Floor
2.DVIA-P2200
장비
Turned on/IDLE
VerticalVC-BVC-C
@ 50 Hz
VC-G
@ 50 Hz
PASSPASS
Left to RightVC-BVC-B
@ 50 Hz
VC-G
@ 50 Hz
PASSPASS
Front to BackVC-BVC-B
@ 50 Hz
VC-G
@ 50 Hz
PASSPASS

데이터&이미지

수직 VC 곡선

수직 Autospectrum

수직 전달률

좌우 VC 곡선

좌우 Autospectrum

좌우 전달률

전후 VC 곡선

전후 Autospectrum

전후 전달률

참고자료

일반 진동 기준

기준 곡선설명진폭
μm/s (µin/s)
세부 크기
μm
Workshop (ISO)뚜렷하게 감지되는 진동. 작업장 및 비민감 구역에 적합.800 (32,000)N/A
Office (ISO)감지 가능한 진동. 사무실 및 비민감 구역에 적합.400 (16,000)N/A
Residential Area (ISO)거의 감지되지 않는 진동. 대부분의 경우 수면 구역에 적합.200 (8,000)75
Operating Theatre (ISO)감지되지 않는 진동. 수술실, 100배율 현미경에 적합.100 (4,000)25
VC-A400배율 광학현미경, 마이크로밸런스, 광학밸런스에 적합.50 (2,000)8
VC-B3μm 선폭 검사 및 리소그래피 장비에 적합.25 (1,000)3
VC-C1000배율 광학현미경, 1μm 리소그래피 장비에 적합.12.5 (500)1 - 3
VC-D전자현미경(SEM/TEM) 등 까다로운 장비에 적합.6.25 (250)0.1 - 0.3
VC-E나노미터 스케일 E-Beam 리소그래피 등 가장 까다로운 시스템용.3.12 (125)< 0.1
VC-F극도로 조용한 연구 공간용. 설계 기준으로는 권장되지 않음.1.56 (62.5)N/A
VC-G극도로 조용한 연구 공간용. 설계 기준으로는 권장되지 않음.0.78 (31.25)N/A

참고:

- VC-A/B는 8-80 Hz, VC-C~VC-G는 1-80 Hz 범위의 1/3 옥타브 밴드에서 측정.

- 세부 크기는 마이크로일렉트로닉스 제조에서의 선폭 또는 의료 연구에서의 입자 크기를 의미.

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케이스 스터디 정보

카테고리
설치 보고서
시리즈DVIA-P Series
작성일07-09-2025
태그
DVIA-P Series
Installation Report
Tier-1 Semiconductor
Electro Mechanics
P2200