설치 보고서

DVIA-ULF Series

07-14-2025

Liupan Mountain Laboratory ZEISS Sigma 360 FE-SEM DVIA-U700 (241115R3) Installation Report — Yinchuan

DVIA-U Series

Installation Report

Liupan Mountain Laboratory

Yinchuan

ZEISS

Sigma 360

FE-SEM

DVIA-U700

241115R3

YIMO

작성자

엔지니어: Chaewon Lee

튜닝 일자: 25.07.14

보고서 작성일: 25.07.14

개요

The DVIA-U700 active vibration isolation platform is appropriately installed and functioning as intended.

제진 시스템 정보

모델: DVIA-U700

시리얼 번호: 241115R3

엔지니어

Chaewon Lee DAEIL SYSTEMS

튜닝 일자

2025년 7월 14일

End User

Liupan Mountain Laboratory

튜닝 시도 횟수

1st

위치

Yinchuan, China

장비

Manufacturer: ZEISS

Equipment: FE-SEM

Model: Sigma 360

장비 상태

The equipment is installed/IDLE

튜닝 요청

데이터 및 이미지

수직 전달률

좌우 전달률

전후 전달률

장비 사진

Reference

기준 곡선	설명	진폭 μm/s (µin/s)	Detail Size μm
Workshop (ISO)	뚜렷하게 감지되는 진동. 작업장 및 비민감 구역에 적합.	800 (32,000)	N/A
Office (ISO)	감지 가능한 진동. 사무실 및 비민감 구역에 적합.	400 (16,000)	N/A
Residential Area (ISO)	거의 감지되지 않는 진동. 대부분의 수면 공간에 적합.	200 (8,000)	75
Operating Theatre (ISO)	진동이 감지되지 않음. 수술실, 100배 현미경에 적합.	100 (4,000)	25
VC-A	400배 광학 현미경, 미세저울, 광학저울에 적합.	50 (2,000)	8
VC-B	3μm 라인폭 검사·리소그래피 장비에 적합.	25 (1,000)	3
VC-C	1000배 광학 현미경, 1μm 리소그래피 장비에 적합.	12.5 (500)	1 - 3
VC-D	SEM/TEM 등 고성능 장비에 적합.	6.25 (250)	0.1 - 0.3
VC-E	나노미터 스케일 E-Beam 리소그래피 등 최고 요구 시스템.	3.12 (125)	< 0.1
VC-F	극저소음 연구 공간. 설계 기준으로 권장하지 않음.	1.56 (62.5)	N/A
VC-G	극저소음 연구 공간. 설계 기준으로 권장하지 않음.	0.78 (31.25)	N/A

*참고:*

1. VC-A/B는 8–80 Hz 1/3 옥타브 밴드, VC-C~G는 1–80 Hz에서 측정.

2. Detail size는 반도체 라인폭 또는 의료 연구 입자 크기를 의미.

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케이스 스터디 정보

카테고리

설치 보고서

시리즈DVIA-ULF Series

작성일07-14-2025

태그

DVIA-U Series

Installation Report

Liupan Mountain Laboratory

Yinchuan

ZEISS

Sigma 360

FE-SEM

DVIA-U700

241115R3

YIMO

Liupan Mountain Laboratory ZEISS Sigma 360 FE-SEM DVIA-U700 (241115R3) Installation Report — Yinchuan

목차

작성자

개요

제진 시스템 정보

엔지니어

튜닝 일자

End User

튜닝 시도 횟수

위치

장비

장비 상태

튜닝 요청

데이터 및 이미지

수직 전달률

좌우 전달률

전후 전달률

장비 사진

Reference

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