설치 보고서

DVIA-M Series

12-06-2024

YIMO Ciqtek High Speed SEM HEM6000 DVIA-M1000 (241101R6) Installation Report

DVIA-M Series

Installation Report

YIMO

Ciqtek

High Speed SEM

HEM6000

DVIA-M1000

241101R6

개요

The DVIA-M1000 active vibration isolation platform is appropriately installed and functioning as intended.

진동 제어 시스템 정보

모델: DVIA-M1000

시리얼 넘버: 241101R6

담당 엔지니어

Chaewon Lee from DAEIL SYSTEMS

튜닝 일자

24.12.06

보고서 작성일

24.12.06

Prepared for

Westlake University

튜닝 횟수

1st tuning

설치 위치

Hangzhou

장비

제조사: Ciqtek

장비: High Speed SEM

모델: HEM6000

장비 상태

The equipment is installed / Turned off

Tuning Request

데이터 및 이미지

수직 전달률

좌우 전달률

전후 전달률

현장 장비

Reference

일반 진동 기준

기준 곡선	설명	진폭 μm/s (µin/s)	세부 크기 μm
Workshop (ISO)	뚜렷하게 체감할 수 있는 진동 수준. 워크숍 및 민감하지 않은 구역에 적합.	800 (32,000)	N/A
Office (ISO)	인지 가능한 수준의 진동. 사무 공간 및 기타 민감하지 않은 환경에 적합.	400 (16,000)	N/A
Residential Area (ISO)	거의 느껴지지 않는 수준의 진동. 대부분의 수면 공간에 적절.	200 (8,000)	75
Operating Theatre (ISO)	진동이 감지되지 않는 수준. 외과 수술실, 100배율 이하 현미경에 적합.	100 (4,000)	25
VC-A	400배율 광학 현미경, 미세 저울, 광학 저울에 적합.	50 (2,000)	8
VC-B	3μm 선폭 검사 및 리소그래피 장비에 적합.	25 (1,000)	3
VC-C	1000배율 광학 현미경, 1μm 리소그래피 장비에 적합.	12.5 (500)	1 - 3
VC-D	전자현미경(SEM/TEM) 등 까다로운 장비에 적합.	6.25 (250)	0.1 - 0.3
VC-E	나노미터 스케일 E-Beam 리소그래피 등 가장 까다로운 시스템용.	3.12 (125)	< 0.1
VC-F	극도로 조용한 연구 공간용. 설계 기준으로는 권장되지 않음.	1.56 (62.5)	N/A
VC-G	극도로 조용한 연구 공간용. 설계 기준으로는 권장되지 않음.	0.78 (31.25)	N/A

참고:

1. VC-A/B는 8-80 Hz, VC-C~VC-G는 1-80 Hz 범위의 1/3 옥타브 밴드에서 측정.

2. 세부 크기는 마이크로일렉트로닉스 제조에서의 선폭 또는 의료 연구에서의 입자 크기를 의미.

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카테고리

설치 보고서

시리즈DVIA-M Series

작성일12-06-2024

태그

DVIA-M Series

Installation Report

YIMO

Ciqtek

High Speed SEM

HEM6000

DVIA-M1000

241101R6

YIMO Ciqtek High Speed SEM HEM6000 DVIA-M1000 (241101R6) Installation Report

Contents

개요

진동 제어 시스템 정보

담당 엔지니어

튜닝 일자

보고서 작성일

Prepared for

튜닝 횟수

설치 위치

장비

장비 상태

Tuning Request

데이터 및 이미지

수직 전달률

좌우 전달률

전후 전달률

현장 장비

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