설치 보고서

01-08-2024

YIMO Ciqtek FE-SEM SEM5000X DVIA-M1000(241101R3) 설치 보고서

DVIA-M Series

Installation Report

YIMO

Ciqtek

FE-SEM

SEM5000X

DVIA-M1000

241101R3

개요

The DVIA-M1000 active vibration isolation platform is appropriately installed and functioning as intended.

진동 제어 시스템 정보

모델: DVIA-M1000

시리얼 넘버: 241101R3

담당 엔지니어

Chaewon Lee from DAEIL SYSTEMS

튜닝 일자

25.01.02

보고서 작성일

24.01.08

Prepared for

N/A

튜닝 횟수

1st tuning

설치 위치

N/A

장비

제조사: Ciqtek

장비: FE-SEM

모델: SEM5000X

장비 상태

The equipment is installed / Turned off

Tuning Request

데이터 및 이미지

수직 전달률

이미지 1 · YIMO Ciqtek FE-SEM SEM5000X DVIA-M1000(241101R3) 설치 보고서

좌우 전달률

이미지 2 · YIMO Ciqtek FE-SEM SEM5000X DVIA-M1000(241101R3) 설치 보고서

전후 전달률

이미지 3 · YIMO Ciqtek FE-SEM SEM5000X DVIA-M1000(241101R3) 설치 보고서

현장 장비

이미지 4 · YIMO Ciqtek FE-SEM SEM5000X DVIA-M1000(241101R3) 설치 보고서

Reference

일반 진동 기준

기준 곡선	설명	진폭 μm/s (µin/s)	세부 크기 μm
Workshop (ISO)	뚜렷하게 체감할 수 있는 진동 수준. 워크숍 및 민감하지 않은 구역에 적합.	800 (32,000)	N/A
Office (ISO)	인지 가능한 수준의 진동. 사무 공간 및 기타 민감하지 않은 환경에 적합.	400 (16,000)	N/A
Residential Area (ISO)	거의 느껴지지 않는 수준의 진동. 대부분의 수면 공간에 적절.	200 (8,000)	75
Operating Theatre (ISO)	진동이 감지되지 않는 수준. 외과 수술실, 100배율 이하 현미경에 적합.	100 (4,000)	25
VC-A	400배율 광학 현미경, 미세 저울, 광학 저울에 적합.	50 (2,000)	8
VC-B	3μm 선폭 검사 및 리소그래피 장비에 적합.	25 (1,000)	3
VC-C	1000배율 광학 현미경, 1μm 리소그래피 장비에 적합.	12.5 (500)	1 - 3
VC-D	전자현미경(SEM/TEM) 등 까다로운 장비에 적합.	6.25 (250)	0.1 - 0.3
VC-E	나노미터 스케일 E-Beam 리소그래피 등 가장 까다로운 시스템용.	3.12 (125)	< 0.1
VC-F	극도로 조용한 연구 공간용. 설계 기준으로는 권장되지 않음.	1.56 (62.5)	N/A
VC-G	극도로 조용한 연구 공간용. 설계 기준으로는 권장되지 않음.	0.78 (31.25)	N/A

참고:

1. VC-A/B는 8-80 Hz, VC-C~VC-G는 1-80 Hz 범위의 1/3 옥타브 밴드에서 측정.

2. 세부 크기는 마이크로일렉트로닉스 제조에서의 선폭 또는 의료 연구에서의 입자 크기를 의미.

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