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설치 보고서
DVIA-M Series
01-08-2026

YIMO ZEISS FIB-SEM Crossbeam 550 DVIA-ML1000 (240603R6) Installation Report

DVIA-M Series
Installation Report
YIMO
ZEISS
Crossbeam 550
FIB-SEM
DVIA-ML1000
240603R6

Contents

개요

The DVIA-ML1000 active vibration isolation platform is appropriately installed and functioning as intended.

진동 제어 시스템 정보

모델: DVIA-ML1000

시리얼 넘버: 240603R6

담당 엔지니어

Chaewon Lee DAEIL SYSTEMS

튜닝 일자

January 8, 2026

보고서 작성일

26.01.08

End User

N/A

튜닝 횟수

1st

설치 위치

N/A

장비

제조사: ZEIS

장비: FIB-SEM

모델: Crossbeam 550

장비 상태

The equipment is turned on/IDLE

진동 사양

튜닝 요청

N/A

UI 프로그램을 통해 얻은 측정 데이터

Vertical Autospectrum

Vertical Transmissibility

Left to Right Autospectrum

Left to Right Transmissibility

Front to Back Autospectrum

Front to Back Transmissibility

장비 사진

Photo Not Allowed

Reference

일반 진동 기준

기준 곡선설명진폭
μm/s (µin/s)		세부 크기
μm
Workshop (ISO)뚜렷하게 체감할 수 있는 진동 수준. 워크숍 및 민감하지 않은 구역에 적합.800 (32,000)N/A
Office (ISO)인지 가능한 수준의 진동. 사무 공간 및 기타 민감하지 않은 환경에 적합.400 (16,000)N/A
Residential Area (ISO)거의 느껴지지 않는 수준의 진동. 대부분의 수면 공간에 적절.200 (8,000)75
Operating Theatre (ISO)진동이 감지되지 않는 수준. 외과 수술실, 100배율 이하 현미경에 적합.100 (4,000)25
VC-A400배율 광학 현미경, 미세 저울, 광학 저울에 적합.50 (2,000)8
VC-B3μm 선폭 검사 및 리소그래피 장비에 적합.25 (1,000)3
VC-C1000배율 광학 현미경, 1μm 리소그래피 장비에 적합.12.5 (500)1 - 3
VC-D전자현미경(SEM/TEM) 등 까다로운 장비에 적합.6.25 (250)0.1 - 0.3
VC-E나노미터 스케일 E-Beam 리소그래피 등 가장 까다로운 시스템용.3.12 (125)< 0.1
VC-F극도로 조용한 연구 공간용. 설계 기준으로는 권장되지 않음.1.56 (62.5)N/A
VC-G극도로 조용한 연구 공간용. 설계 기준으로는 권장되지 않음.0.78 (31.25)N/A

참고:

- VC-A/B는 8-80 Hz, VC-C~VC-G는 1-80 Hz 범위의 1/3 옥타브 밴드에서 측정.

- 세부 크기는 마이크로일렉트로닉스 제조에서의 선폭 또는 의료 연구에서의 입자 크기를 의미.

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케이스 스터디 정보

카테고리
설치 보고서
시리즈DVIA-M Series
작성일01-08-2026
태그
DVIA-M Series
Installation Report
YIMO
ZEISS
Crossbeam 550
FIB-SEM
DVIA-ML1000
240603R6

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