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설치 보고서
DVIA-M Series
05-20-2025

Tomocube Holotomography DVIA-MO1000 (240507R4-1) Installation Report

DVIA-M Series
Installation Report
Tomocube
Holotomography
DVIA-MO1000
240507R4-1

개요

토모큐브 신사옥으로 이전 설치된 DVIA-MO1000 튜닝 및 진동측정 진행하였습니다.

장비 안착 후 장비 Turned off 상태로 진동측정 및 튜닝 진행하였습니다.

Data를 VC-Curve로 표기 후 진동 수준에 대한 Reference 자료를 제공합니다.

진동 제어 시스템 정보

모델: DVIA-MO1000

시리얼 넘버: 240507R4-1

담당 엔지니어

대일시스템 필드엔지니어 이채원

튜닝 일자

2025년 05월 19일

보고서 작성일

25.05.20

End User

토모큐브

튜닝 횟수

3회차(1회차: 24.07.18, 2회차: 24.07.18)

설치 위치

(주)준형 2층 DEMO실

장비

Manufacturer: 토모큐브

Equipment: Holotomography

Model: HT-R1 Rev3 Demo-001

진동 사양

VC-G

장비 상태

장비 제진대 위에 안착 및 Turned off

측정 요약

측정 장소장비상태방향진동 스펙바닥DVIA-MO1000측정 결과측정 결과
위치: DEMO실
1. 바닥
2. DVIA-MO1000
설치완료 /Turned offVerticalVC-GVC-D @ 8 HzVC-G @ 8 HzFAILPASS
Left to RightVC-D @ 2 HzVC-G @ 2 HzFAILPASS
Front to BackVC-D @ 8 HzVC-G @ 8 HzFAILPASS

데이터 및 이미지

Vertical VC Curves

Vertical Narrow Band

Vertical Transmissibility

Left to Right VC Curves

Left to Right Narrow Band

Left to Right Transmissibility

Front to Back VC Curves

Front to Back Narrow Band

Front to Back Transmissibility

장비 사진

Reference

일반 진동 기준

기준 곡선설명진폭
μm/s (µin/s)
세부 크기
μm
Workshop (ISO)뚜렷하게 체감할 수 있는 진동 수준. 워크숍 및 민감하지 않은 구역에 적합.800 (32,000)N/A
Office (ISO)인지 가능한 수준의 진동. 사무 공간 및 기타 민감하지 않은 환경에 적합.400 (16,000)N/A
Residential Area (ISO)거의 느껴지지 않는 수준의 진동. 대부분의 수면 공간에 적절.200 (8,000)75
Operating Theatre (ISO)진동이 감지되지 않는 수준. 외과 수술실, 100배율 이하 현미경에 적합.100 (4,000)25
VC-A400배율 광학 현미경, 미세 저울, 광학 저울에 적합.50 (2,000)8
VC-B3μm 선폭 검사 및 리소그래피 장비에 적합.25 (1,000)3
VC-C1000배율 광학 현미경, 1μm 리소그래피 장비에 적합.12.5 (500)1 - 3
VC-D전자현미경(SEM/TEM) 등 까다로운 장비에 적합.6.25 (250)0.1 - 0.3
VC-E나노미터 스케일 E-Beam 리소그래피 등 가장 까다로운 시스템용.3.12 (125)< 0.1
VC-F극도로 조용한 연구 공간용. 설계 기준으로는 권장되지 않음.1.56 (62.5)N/A
VC-G극도로 조용한 연구 공간용. 설계 기준으로는 권장되지 않음.0.78 (31.25)N/A

참고:

- VC-A/B는 8-80 Hz, VC-C~VC-G는 1-80 Hz 범위의 1/3 옥타브 밴드에서 측정.

- 세부 크기는 마이크로일렉트로닉스 제조에서의 선폭 또는 의료 연구에서의 입자 크기를 의미.

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케이스 스터디 정보

카테고리
설치 보고서
시리즈DVIA-M Series
작성일05-20-2025
태그
DVIA-M Series
Installation Report
Tomocube
Holotomography
DVIA-MO1000
240507R4-1