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설치 보고서
DVIA-T Series
03-11-2024

LG Chem METTLER TOLEDO XPR205 DeltaRange DVIA-T67 (240306R1) Installation Report

DVIA-T Series
Installation Report
LG Chem
METTLER TOLEDO
XPR205 DeltaRange
DVIA-T67
240306R1

Prepared for

LG화학

Prepared by

Engineer: Jongwon Park

Installation date: 24.03.11

Report written date: 24.03.11

개요

LG사이언스파크 데모 적용 건으로 E8동 3층 연구실에 DVIA-T67(DEMO)을 설치했습니다.

DVIA-T67을 PC와 연결하여 UI Program을 통한 설치 튜닝, 진동측정 장비를 이용한 점검 진행했습니다.

시스템 정보

모델: DVIA-T67

시리얼 넘버: 240306R1

엔지니어

Jongwon Park from DAEIL SYSTEMS

설치 날짜

2024년 3월 11일

측정 위치

LG사이언스파크 E8, 마곡

장비

METTLER TOLEDO XPR205 DeltaRange

Number of Tuning Trial

1회차

Equipment Condition

Equipment is installed / Idle

Measurement Device

9.1) Data Physics FFT Analyser

Hardware: QUATTRO, Serial Number: 22436

Software: SignalCalc ACE

9.2) Measurement Setting

Bandwidth: 1 - 80Hz

Lines: 800

Window: Hanning

Averaging: FFT Spectrum Averaging

Engineering Units: m/s

9.3) Accelerometer

PCB Accelerometer

Model: 393B05

9.4) Measurement Method

상부(Top plate), 하부(Floor)에 진동 측정용 가속도 센서를 부착합니다.

Vertical, Left to Right, Front to Back 방향으로 진동을 측정합니다.

측정 Data를 VC Curve Graph에 표기하였습니다.

결론

Vertical 방향의 25 Hz에서 Operating Theatre (ISO)부터 VC-F까지 지반진동이 감쇠 되었습니다. 25 Hz를 제외한 나머지 주파수 대역에서 VC-G입니다.

Left to Right 방향의 12.5 Hz에서 Operating Theatre (ISO)부터 VC-F까지 지반진동이 감쇠 되었습니다.

Front to Back 방향의 12.5 Hz에서 VC-A부터 VC-G까지 지반진동이 감쇠 되었습니다.

VC-F, VC-G 수준은 high-end TEM 진동스펙입니다.

진동 측정 결과 요약

측정 위치Vertical1-10 HzVertical12.5-80 HzLeft to Right 1-10 HzLeft to Right 12.5-80 HzFront to Back 1-10 HzFront to Back 12.5-80 Hz
FloorCOperating Theatre (ISO)BOperating Theatre (ISO)BA
DVIA-T67GFFFFG

데이터 및 이미지

UI Program Transmissibility

Vertical Transmissibility

Left to Right Transmissibility

Front to Back Transmissibility

12.2 Vibration Measurement

Vertical VC Curve (rms Velocity, m/s)

Left to Right VC Curve (rms Velocity, m/s)

Front to Back VC Curve (rms Velocity, m/s)

Reference

일반 진동 기준

기준 곡선설명진폭
μm/s (µin/s)
세부 크기
μm
Workshop (ISO)뚜렷하게 체감할 수 있는 진동 수준. 워크숍 및 민감하지 않은 구역에 적합.800 (32,000)N/A
Office (ISO)인지 가능한 수준의 진동. 사무 공간 및 기타 민감하지 않은 환경에 적합.400 (16,000)N/A
Residential Area (ISO)거의 느껴지지 않는 수준의 진동. 대부분의 수면 공간에 적절.200 (8,000)75
Operating Theatre (ISO)진동이 감지되지 않는 수준. 외과 수술실, 100배율 이하 현미경에 적합.100 (4,000)25
VC-A400배율 광학 현미경, 미세 저울, 광학 저울에 적합.50 (2,000)8
VC-B3μm 선폭 검사 및 리소그래피 장비에 적합.25 (1,000)3
VC-C1000배율 광학 현미경, 1μm 리소그래피 장비에 적합.12.5 (500)1 - 3
VC-D전자현미경(SEM/TEM) 등 까다로운 장비에 적합.6.25 (250)0.1 - 0.3
VC-E나노미터 스케일 E-Beam 리소그래피 등 가장 까다로운 시스템용.3.12 (125)< 0.1
VC-F극도로 조용한 연구 공간용. 설계 기준으로는 권장되지 않음.1.56 (62.5)N/A
VC-G극도로 조용한 연구 공간용. 설계 기준으로는 권장되지 않음.0.78 (31.25)N/A

참고:

- VC-A/B는 8-80 Hz, VC-C~VC-G는 1-80 Hz 범위의 1/3 옥타브 밴드에서 측정.

- 세부 크기는 마이크로일렉트로닉스 제조에서의 선폭 또는 의료 연구에서의 입자 크기를 의미.

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케이스 스터디 정보

카테고리
설치 보고서
시리즈DVIA-T Series
작성일03-11-2024
태그
DVIA-T Series
Installation Report
LG Chem
METTLER TOLEDO
XPR205 DeltaRange
DVIA-T67
240306R1