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설치 보고서
DVIA-M Series
05-12-2026

Unisoku USM1400 STM DVIA-MB3000 Installation Report

DVIA-M Series
Installation Report
Unisoku
STM
USM1400

목차

개요

The DVIA-MB3000 active vibration isolation platform is appropriately installed and functioning as intended.

진동 제어 시스템 정보

모델: DVIA-MB3000

시리얼 넘버: 240228R1

담당 엔지니어

Chaewon Lee DAEIL SYSTEMS

튜닝 일자

2026년 5월 7일

보고서 작성일

2026년 5월 12일

최종 사용자

Mianyang Ninth Hospital

튜닝 횟수

1차

설치 위치

Mianyang City, China

장비

제조사: Unisoku

장비: STM

모델: USM1400

진동 사양

N/A

장비 상태

The equipment is turned on/IDLE

튜닝 요청

측정 요약

측정 지점상태축바닥DVIA-MB3000
1.Floor
2.DVIA-MB3000		Equipment is Turned on/IDLEVerticalVC-C
@ 3.15 Hz		VC-F
@ 3.15 Hz
Left to RightVC-D
@ 50 Hz		VC-G
@ 50 Hz
Front to BackVC-D
@ 20 Hz		VC-G
@ 20 Hz

UI 프로그램으로 획득한 측정 데이터

수직 VC Curves

수직 Autospectrum

수직 Transmissibility

좌우 VC curves

좌우 Autospectrum

좌우 Transmissibility

전후 VC Curves

전후 Autospectrum

전후 Transmissibility

장비 사진

Photography was not permitted.

참조

일반 진동 기준

기준 곡선설명진폭
μm/s (µin/s)		세부 크기
μm
Workshop (ISO)명확하게 감지되는 진동. 작업장 및 비민감 구역에 적합.800 (32,000)해당 없음
Office (ISO)감지 가능한 진동. 사무실 및 비민감 구역에 적합.400 (16,000)해당 없음
Residential Area (ISO)거의 감지되지 않는 진동. 대부분의 경우 수면 구역에 적합.200 (8,000)75
Operating Theatre (ISO)감지되지 않는 진동. 수술실, 100배 현미경에 적합.100 (4,000)25
VC-A400배 광학 현미경, 마이크로 저울, 광학 저울에 적합.50 (2,000)8
VC-B3μm 선폭의 검사 및 리소그래피 장비에 적합.25 (1,000)3
VC-C1000배 광학 현미경, 1μm 리소그래피 장비에 적합.12.5 (500)1 - 3
VC-D전자 현미경(SEM/TEM) 포함 고정밀 장비에 적합.6.25 (250)0.1 - 0.3
VC-E나노미터 스케일의 E-Beam 리소그래피 등 최고 정밀 시스템용.3.12 (125)< 0.1
VC-F극도로 조용한 연구 공간용. 설계 기준으로 권장되지 않음.1.56 (62.5)해당 없음
VC-G극도로 조용한 연구 공간용. 설계 기준으로 권장되지 않음.0.78 (31.25)해당 없음

참고:

- 8-80 Hz (VC-A/B) 또는 1-80 Hz (VC-C ~ VC-G)에서 1/3 옥타브 밴드로 측정.

- 세부 크기는 마이크로일렉트로닉스 제조의 선폭 또는 의료 연구의 입자 크기를 의미합니다.

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케이스 스터디 정보

카테고리
설치 보고서
시리즈DVIA-M Series
작성일05-12-2026
태그
DVIA-M Series
Installation Report
Unisoku
STM
USM1400

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