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설치 보고서
DVIA-T Series
11-05-2024

LLS DVIA-T45 (240228R2) Inspection Report

DVIA-T Series
Inspection Report
LLS
DVIA-T45
240228R2

Contents

제진 시스템 정보

모델: DVIA-T45

시리얼 넘버: 240228R2

엔지니어

Chaewon Lee

튜닝 일자

2024-11-01

장비 상태

The interferometer is installed on the DVIA-T45.

튜닝 횟수

1st

결론

DVIA-T를 원격으로 튜닝 및 진단하였습니다.

모든 센서가 정상적으로 응답하며, 진동 제어 성능은 기준을 충족합니다.

이미지 흔들림의 원인은 설치 환경과 관련될 수 있으며, 일반적인 개선 조치는 DVIA-T가 설치된 테이블을 강성이 더 높은 테이블로 교체하는 것입니다.

데이터 및 이미지

1) Sensor check

Vertical Sensor1

Vertical Sensor 2

Left to Right Sensor

Front to Back Sensor

2) Transmissibility

Vertical Transmissibility

Left to Right Transmissibility

Front to Back Transmissibility

Reference

일반 진동 기준

기준 곡선설명진폭
μm/s (µin/s)		세부 크기
μm
Workshop (ISO)뚜렷하게 체감할 수 있는 진동 수준. 워크숍 및 민감하지 않은 구역에 적합.800 (32,000)N/A
Office (ISO)인지 가능한 수준의 진동. 사무 공간 및 기타 민감하지 않은 환경에 적합.400 (16,000)N/A
Residential Area (ISO)거의 느껴지지 않는 수준의 진동. 대부분의 수면 공간에 적절.200 (8,000)75
Operating Theatre (ISO)진동이 감지되지 않는 수준. 외과 수술실, 100배율 이하 현미경에 적합.100 (4,000)25
VC-A400배율 광학 현미경, 미세 저울, 광학 저울에 적합.50 (2,000)8
VC-B3μm 선폭 검사 및 리소그래피 장비에 적합.25 (1,000)3
VC-C1000배율 광학 현미경, 1μm 리소그래피 장비에 적합.12.5 (500)1 - 3
VC-D전자현미경(SEM/TEM) 등 까다로운 장비에 적합.6.25 (250)0.1 - 0.3
VC-E나노미터 스케일 E-Beam 리소그래피 등 가장 까다로운 시스템용.3.12 (125)< 0.1
VC-F극도로 조용한 연구 공간용. 설계 기준으로는 권장되지 않음.1.56 (62.5)N/A
VC-G극도로 조용한 연구 공간용. 설계 기준으로는 권장되지 않음.0.78 (31.25)N/A

참고:

- VC-A/B는 8-80 Hz, VC-C~VC-G는 1-80 Hz 범위의 1/3 옥타브 밴드에서 측정.

- 세부 크기는 마이크로일렉트로닉스 제조에서의 선폭 또는 의료 연구에서의 입자 크기를 의미.

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케이스 스터디 정보

카테고리
설치 보고서
시리즈DVIA-T Series
작성일11-05-2024
태그
DVIA-T Series
Inspection Report
LLS
DVIA-T45
240228R2

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