Toppan Photomasks Icheon ADVANTEST E5630 DVIA-P2200 Installation Report
Contents
개요
토판포토마스크에 설치된 DVIA-P2200에 대한 설치 튜닝 및 진동 측정
장비 IDLE 상태로 점검 및 진동 측정했습니다. (일반적으로 10-30Hz 장비 IDLE 상태 진동이 측정되므로 정확한 측정을 위해서는 Turn off가 필요합니다.)
DVIA-P2200 PAD에 진동 측정 센서 부착공간이 없어 센서를 장비에 부착하였습니다. (장비 IDLE 상태 진동이 그대로 측정됩니다.)
Setup 결과 X, Y, Z 축의 모든 주파수 대역에서 지반진동을 감쇠하고 장비 허용 진동 SPEC을 만족합니다.
진동 제어 시스템 정보
모델: DVIA-P2200
시리얼 넘버: 230713R2
엔지니어
Youngha Lee, Jongwon Park from DAEIL SYSTEMS
튜닝 날짜
2024년 1월 15일
튜닝 횟수
2nd tuning
설치 장소
Toppan Photomask C/R 1F, Icheon
Prepared for
TOPPAN PHOTOMASKS KOREA LTD.
장비
ADVANTEST E5630
장비 상태
Equipment is installed / Idle
Equipment allowable vibration
1μm x = 1m
Peak to peak x 0.3536 = RMS
Displacement(m) x (2 x π x frequency) = Velocity(m/s)
Velocity(RMS) VC-Curves Graph
진동 측정
10.1) PULSE 22
Hardware: Bruel & Kjaer Type 3050-A-040
Software: LapShop Application (PULSE Lapshop)
10.2) Accelerometer
PCB Accelerometer
Model: 393B05
Summary of Vibration Results
Measurement Point
Floor: Access floor 아래 격자보에 부착
E5630: E5630 장비 중단 부 (제진대 PAD 부착공간 미확보)
X, Y, Z축의 모든 주파수 대역에서 지반진동을 감쇠합니다.
데이터 및 이미지
Z-axis (Vertical) Transmissibility
Z-axis (Vertical) VC curves
X-axis (Left to Right) Transmissibility
X-axis (Left to Right) VC curves
Y-axis (Front to Back) Transmissibility
Y-axis (Front to Back) VC curves
참고자료
일반 진동 기준
참고:
- VC-A/B는 8-80 Hz, VC-C~VC-G는 1-80 Hz 범위의 1/3 옥타브 밴드에서 측정.
- 세부 크기는 마이크로일렉트로닉스 제조에서의 선폭 또는 의료 연구에서의 입자 크기를 의미.
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케이스 스터디 정보
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