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설치 보고서
DVIA-M Series
09-26-2023

Schrodinger Thermo Fisher Scientific Glacios 2 with Selectris DVIA-MB3000 (230418R3) Installation Report — 2023.09.26

DVIA-M Series
Installation Report
Schrodinger
Thermo Fisher Scientific
Glacios 2
DVIA-MB3000
230418R3

개요

The DVIA-MB3000 active vibration isolation platform has been installed appropriately and meets the vibration specifications.

진동 제어 시스템 정보

Model: DVIA-MB3000

Serial Number: 230418R3

엔지니어

Jongwon Park from DAEIL SYSTEMS

튜닝 일자

September 26, 2023

보고서 작성일

2023.10.25

출장 일자

Date of business trip : 17.12.27~17.12.29

설치 장소

200 Staples Dr. Unit 210 Framingham, MA 01702 USA

장비

Thermo Fisher Scientific Glacios 2 with Selectris

진동 측정 결과 요약

Measurement Point

VC curves

Z-axis (Vertical)

1-10 Hz

Z-axis (Vertical)

10-80 Hz

X-axis

(Left to Right)

1-10 Hz

X-axis

(Left to Right)

10-80 Hz

Y-axis (Front to Back)

1-10 Hz

Y-axis (Front to Back)

10-80 Hz

Floor

C

A

D

C

D

C

DVIA-MB3000

G

D

F

F

G

G

데이터 및 이미지

8.1 신호 프로그램 전달률 — Z축 (수직)

8.1 신호 프로그램 전달률 — X축 (좌우)

8.1 신호 프로그램 전달률 — Y축 (전후)

VEC 측정

Z축 (수직) Transmissibility

Z축 (수직) Floor VC 곡선

Z축 (수직) Active VC 곡선

X축 (좌우) Transmissibility

X축 (좌우) Floor VC 곡선

X축 (좌우) Active VC 곡선

Y축 (전후) Transmissibility

Y축 (전후) Floor VC 곡선

Y축 (전후) Active VC 곡선

8.3 설치 장비 사진 (1)

8.3 설치 장비 사진 (2)

Reference

일반 진동 기준

기준 곡선설명진폭
μm/s (µin/s)
상세 크기
μm
Workshop (ISO)뚜렷하게 감지되는 진동. 작업장 및 비민감 구역에 적합.800 (32,000)N/A
Office (ISO)감지 가능한 진동. 사무실 및 비민감 구역에 적합.400 (16,000)N/A
Residential Area (ISO)거의 감지되지 않는 진동. 대부분의 수면 구역에 적합.200 (8,000)75
Operating Theatre (ISO)감지되지 않는 진동. 수술실, 100배율 현미경에 적합.100 (4,000)25
VC-A400배율 광학 현미경, 미량 저울, 광학 저울에 적합.50 (2,000)8
VC-B3μm 선폭의 검사 및 리소그래피 장비에 적합.25 (1,000)3
VC-C1000배율 광학 현미경, 1μm 리소그래피 장비에 적합.12.5 (500)1 - 3
VC-D전자 현미경(SEM/TEM) 등 고정밀 장비에 적합.6.25 (250)0.1 - 0.3
VC-E나노미터 스케일 E-Beam 리소그래피 등 최고 정밀 시스템에 적합.3.12 (125)< 0.1
VC-F극도로 조용한 연구 공간용. 설계 기준으로는 권장되지 않음.1.56 (62.5)N/A
VC-G극도로 조용한 연구 공간용. 설계 기준으로는 권장되지 않음.0.78 (31.25)N/A

참고:

1. VC-A/B는 8-80 Hz의 1/3 옥타브 밴드에서, VC-C부터 VC-G는 1-80 Hz에서 측정됩니다.

2. 상세 크기는 마이크로일렉트로닉스 제조의 선폭 또는 의료 연구의 입자 크기를 의미합니다.

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케이스 스터디 정보

카테고리
설치 보고서
시리즈DVIA-M Series
작성일09-26-2023
태그
DVIA-M Series
Installation Report
Schrodinger
Thermo Fisher Scientific
Glacios 2
DVIA-MB3000
230418R3