SAMSUNG SDI Cheongju Cleanroom KEYENCE VK-X3000 DVIA-T45 (230417R5) Service & Vibration Report
Contents
개요
DVIA-T45의 작동상태가 불량하여 제품 성능점검을 요청 받아 출장점검 진행.
작동의 오류가 있는 상태로 제품 재부팅 이후 정상 작동 확인 및 진동 측정.
추가로, 석정반의 진동 측정을 요청하여 측정 수행.
시스템 정보
모델: DVIA-T45(90kg)
시리얼 넘버: 230417R5
엔지니어
개발팀 사원 이영하 from DAEIL SYSTEMS
튜닝 일자
2023년 8월 18일
측정 위치
SAMSUNG SDI 클린룸, 청주사업장
장비
VK-X3000, keyence
Prepared by
Engineer: Youngha Lee
Tuning date: 23.08.18
Report written date: 23.08.23
Date of business trip: 17.12.27~17.12.29
진동 측정 결과 요약
평상 시 진동 상태 (Normal)
| 측정 위치 | Z 1–10 Hz | Z 12.5–80 Hz | X 1–10 Hz | X 12.5–80 Hz | Y 1–10 Hz | Y 12.5–80 Hz |
|---|---|---|---|---|---|---|
| Floor | C | B | E | C | D | D |
| Table | C | A | B | B | C | A |
| Active | F | E | F | G | E | G |
장비 주변 바닥에 진동을 부여한 경우
| 측정 위치 | Z 1–10 Hz | Z 12.5–80 Hz | X 1–10 Hz | X 12.5–80 Hz | Y 1–10 Hz | Y 12.5–80 Hz |
|---|---|---|---|---|---|---|
| Floor | A | B | D | C | D | D |
| Table | A | A+ | B | A | C | A |
| Active | D | E | F | G | F | F |
데이터 및 이미지
UI Program Transmissibility
Z축(수직)
X축(좌우)
Y축(전후)
UI Program Graph를 통해 5Hz에서 -24dB ~ -26dB, 10Hz에서 -29dB ~ -34dB의 진동 감쇠가 이루어져 정상 작동을 확인할 수 있다.
DVIA-T45 진동 측정 — 평상 시
청색 선: 제진대 상판(키엔스 장비가 올라간 부분)의 진동
적색 선: 제진대가 올려진 Table의 진동
녹색 선: 바닥 진동(Table아래)
Z축(수직)
X축(좌우)
Y축(전후)
Transmissibility Graph
장비 주변 바닥에 진동 부여
청색 선: 제진대 상판(키엔스 장비가 올라간 부분)의 진동
적색 선: 제진대가 올려진 Table의 진동
녹색 선: 바닥 진동(Table아래)
Z축(수직)
X축(좌우)
Y축(전후)
Transmissibility Graph
진동을 부여한 상태와 평상 시 상태의 진동 전달률(Transmissibility)를 비교해 봤을 때 차이가 거의 없다. 따라서, 장비의 정상 작동을 확인할 수 있다.
석정반 Vibration measurement
청색 선: 석정반 상판의 진동
적색 선: 바닥 진동
Z축(수직)
X축(좌우)
Y축(전후)
Transmissibility Graph
Reference
일반 진동 기준
참고:
- VC-A/B는 8-80 Hz, VC-C~VC-G는 1-80 Hz 범위의 1/3 옥타브 밴드에서 측정.
- 세부 크기는 마이크로일렉트로닉스 제조에서의 선폭 또는 의료 연구에서의 입자 크기를 의미.
