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설치 보고서
DVIA-ULF Series
09-14-2022

LG Display Paju M2 SNU CTQ Equipment DVIA-UB350 (220211R02) Retuning Report — 2022-09-08

DVIA-ULF Series
Installation Report
LG Display
SNU
SNU Precision
SNU CTQ
DVIA-UB350
220211R02
Retuning

수신

SNU Precision

엔지니어: 천 승 훈, 이 영 하

천 승 훈, 이 영 하

튜닝 일자

2022.09.08

보고서 작성일

2022.09.14

업무 출장 기간

17.12.27~17.12.29

개요

Active 제진대 DVIA-UB350의 수평 제진 성능 개선을 위한 점검 및 재 튜닝 진행함.

Stage의 위치를 고려하여 Passive 레벨 조정하고 Gain Value를 증가시켜 재 튜닝을 진행하여 정상적으로 작동함.

시스템 정보

모 델: DVIA-UB350(1260x800)

시리얼 넘버(S/N): 220211R02

엔지니어

DAEIL SYSTEMS 영업팀 사원 천 승 훈, 개발팀 사원 이 영 하

튜닝 일자 (년월일)

2022년 9월 08일

장소

LG Display(파주) M2

제진대 상부 장비

SNU CTQ Equipment

진동 측정 장비

7.1) PULSE 22

모듈: Bruel & Kjaer Type 3050-A-040

Software: LapShop Application(PULSE Lapshop)

7.2) 센서

PCB Accelerometer - 모델: 393B05

진동 측정 결과 요약

측정 포인트Z축 (수직) / 1-10 HzZ축 (수직) / 10-80 HzX축 (좌→우) / 1-10 HzX축 (좌→우) / 10-80 HzY축 (앞→뒤) / 1-10 HzY축 (앞→뒤) / 10-80 Hz
바닥CCEDEE
제진대 상판GFFEFF

데이터와 그래프

Z축 (수직) VC curves

Z축 (수직) 전달률

5Hz에서 -22.93dB, 10Hz에서 -27.6dB 감쇄

녹색: 바닥의 진동, 적색: 상판의 진동

X축 (좌 → 우) VC curves

X 축 (좌 → 우) 전달률

5Hz에서 -23.45dB, 10Hz에서 -26.91dB 감쇄

녹색: 바닥의 진동, 적색: 상판의 진동

Y축 (앞 → 뒤) VC curves

Y 축 (앞 → 뒤) 전달률

5Hz에서 -19.96dB, 10Hz에서 -28.03dB 감쇄

녹색: 바닥의 진동, 적색: 상판의 진동

참조

일반 진동 기준

기준 곡선설명진폭
μm/s (µin/s)
상세 크기
μm
Workshop (ISO)뚜렷하게 감지되는 진동. 작업장 및 비민감 구역에 적합.800 (32,000)N/A
Office (ISO)감지 가능한 진동. 사무실 및 비민감 구역에 적합.400 (16,000)N/A
Residential Area (ISO)거의 감지되지 않는 진동. 대부분의 수면 구역에 적합.200 (8,000)75
Operating Theatre (ISO)감지되지 않는 진동. 수술실, 100배율 현미경에 적합.100 (4,000)25
VC-A400배율 광학 현미경, 미량 저울, 광학 저울에 적합.50 (2,000)8
VC-B3μm 선폭의 검사 및 리소그래피 장비에 적합.25 (1,000)3
VC-C1000배율 광학 현미경, 1μm 리소그래피 장비에 적합.12.5 (500)1 - 3
VC-D전자 현미경(SEM/TEM) 등 고정밀 장비에 적합.6.25 (250)0.1 - 0.3
VC-E나노미터 스케일 E-Beam 리소그래피 등 최고 정밀 시스템에 적합.3.12 (125)< 0.1
VC-F극도로 조용한 연구 공간용. 설계 기준으로는 권장되지 않음.1.56 (62.5)N/A
VC-G극도로 조용한 연구 공간용. 설계 기준으로는 권장되지 않음.0.78 (31.25)N/A

*참고:*

- 8-80 Hz(VC-A/B) 또는 1-80 Hz(VC-C~VC-G)에서 1/3 옥타브 대역으로 측정.

- 세부 크기는 마이크로일렉트로닉스 제조의 선폭 또는 의료 연구의 입자 크기를 의미합니다.

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케이스 스터디 정보

카테고리
설치 보고서
시리즈DVIA-ULF Series
작성일09-14-2022
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DVIA-ULF Series
Installation Report
LG Display
SNU
SNU Precision
SNU CTQ
DVIA-UB350
220211R02
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