SNU Precision DVIA-UB350 (220727R3) Installation Report — Asan
목차
수신
SNU Precision
작성자
엔지니어: 이 영 하 / 전 돈 혁 / 여 태 웅
튜닝 일자: 2022.09.21
보고서 작성일: 2022.09.21
Date of business trip : 17.12.27~17.12.29
개요
Active 제진대 DVIA-UB350 의 1차 Setup 후 Stage를 구동 시 상판 흔들림으로 스토퍼 충돌로 인한 소음 발생. 70kg 스프링에서 180kg 스프링으로 교체 작업 진행 후 소음이 제거되고 흔들림 또한 크게 개선됨. 2차 Setup 및 진동 측정을 진행 후 이전보다 다소 완화된 성능을 보이나 정상적으로 작동함.
시스템 정보
모 델: DVIA-UB350(1760x825x133H)
시리얼 넘버(S/N): 220727R3
엔지니어
DAEIL SYSTEMS 설계팀 부장 전돈혁, 개발팀 사원 이영하, 생산2팀 사원 여태웅
튜닝 일자
2022년 9월 21일
장소
SNU Precision 본사(아산)
제진대 상부 장비
SNU CTQ Equipment
진동 측정 장비
7.1) PULSE 22
모듈: Bruel & Kjaer Type 3050-A-040
Software: LapShop Application(PULSE Lapshop)
7.2) 센서
PCB Accelerometer
모델: 393B05
진동 측정 결과 요약
VC Curve — 스프링 교체 작업 전
| 측정 포인트 | Z축 (수 직) 1-10 Hz | Z축 (수 직) 10-80 Hz | X축 (좌 → 우) 1-10 Hz | X축 (좌 → 우) 10-80 Hz | Y축 (앞 → 뒤) 1-10 Hz | Y축 (앞 → 뒤) 10-80 Hz |
|---|---|---|---|---|---|---|
| 바닥 | D | C | D | D | D | C |
| 제진대 상판 | G | G | F | G | G | G |
VC Curve — 스프링 교체 작업 후
| 측정 포인트 | Z축 (수 직) 1-10 Hz | Z축 (수 직) 10-80 Hz | X축 (좌 → 우) 1-10 Hz | X축 (좌 → 우) 10-80 Hz | Y축 (앞 → 뒤) 1-10 Hz | Y축 (앞 → 뒤) 10-80 Hz |
|---|---|---|---|---|---|---|
| 바닥 | F | C | E | E | E | E |
| 제진대 상판 | G | F | G | G | G | G |
스프링 교체 전달률 비교
| 축 | 주파수 | 스프링 교체 전 | 스프링 교체 후 | 감소량 |
|---|---|---|---|---|
| Z 축 | - 34.8 dB(98% 감쇄) | - 32.27 dB(97% 감쇄) | 2.53 dB | |
| X 축 | 10 Hz | - 21.09 dB(91% 감쇄) | - 17.1 dB(86% 감쇄) | 3.99 dB |
| Y 축 | - 23.35 dB(93% 감쇄) | - 16.35 dB(84% 감쇄) | 7 dB |
데이터와 그래프
조정 전 Z축 (수직) VC curves
조정 후 Z축 (수직) VC curves
조정 전 Z축 (수직) 전달률
5Hz에서 -24.89dB, 10Hz에서 -34.8dB 감쇄
녹색: 바닥의 진동, 적색: 상판의 진동
조정 후 Z축 (수직) 전달률
5Hz에서 -21.82dB, 10Hz에서 -32.27dB 감쇄
녹색: 바닥의 진동, 적색: 상판의 진동
조정 전 X축 (좌 → 우) VC curves
조정 후 X축 (좌 → 우) VC curves
조정 전 X축 (좌 → 우) 전달률
5Hz에서 -17.09dB, 10Hz에서 -21.09dB 감쇄
녹색: 바닥의 진동, 적색: 상판의 진동
조정 후 X축 (좌 → 우) 전달률
5Hz에서 -13.59dB, 10Hz에서 -17.1dB 감쇄
녹색: 바닥의 진동, 적색: 상판의 진동
조정 전 Y축 (앞 → 뒤) VC curves
조정 후 Y축 (앞 → 뒤) VC curves
조정 전 Y축 (앞 → 뒤) 전달률
5Hz에서 -19.52dB, 10Hz에서 -23.35dB 감쇄
녹색: 바닥의 진동, 적색: 상판의 진동
조정 후 Y축 (앞 → 뒤) 전달률
5Hz에서 -13.42dB, 10Hz에서 -16.35dB 감쇄
녹색: 바닥의 진동, 적색: 상판의 진동
참조
*참고:*
- As measured in one-third octave bands over 8-80 Hz (VC-A/B) or 1-80 Hz (VC-C through VC-G).
- Detail size refers to width in microelectronics fabrication or particle size in medical research.
이 케이스 스터디 공유하기
케이스 스터디 정보
관련 케이스 스터디

SNU Precision OCA CTQ Equipment DVIA-UB350 (220614R01) Installation Report

LG Display Paju M2 SNU CTQ Equipment DVIA-UB350 (220211R02) Retuning Report — 2022-09-08
