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설치 보고서
DVIA-ULF Series
09-21-2022

SNU Precision DVIA-UB350 (220727R3) Installation Report — Asan

DVIA-ULF Series
Installation Report
SNU Precision
DVIA-UB350
220727R3
Asan
Spring replacement

수신

SNU Precision

작성자

엔지니어: 이 영 하 / 전 돈 혁 / 여 태 웅

튜닝 일자: 2022.09.21

보고서 작성일: 2022.09.21

Date of business trip : 17.12.27~17.12.29

개요

Active 제진대 DVIA-UB350 의 1차 Setup 후 Stage를 구동 시 상판 흔들림으로 스토퍼 충돌로 인한 소음 발생. 70kg 스프링에서 180kg 스프링으로 교체 작업 진행 후 소음이 제거되고 흔들림 또한 크게 개선됨. 2차 Setup 및 진동 측정을 진행 후 이전보다 다소 완화된 성능을 보이나 정상적으로 작동함.

시스템 정보

모 델: DVIA-UB350(1760x825x133H)

시리얼 넘버(S/N): 220727R3

엔지니어

DAEIL SYSTEMS 설계팀 부장 전돈혁, 개발팀 사원 이영하, 생산2팀 사원 여태웅

튜닝 일자

2022년 9월 21일

장소

SNU Precision 본사(아산)

제진대 상부 장비

SNU CTQ Equipment

진동 측정 장비

7.1) PULSE 22

모듈: Bruel & Kjaer Type 3050-A-040

Software: LapShop Application(PULSE Lapshop)

7.2) 센서

PCB Accelerometer

모델: 393B05

진동 측정 결과 요약

VC Curve — 스프링 교체 작업 전

측정 포인트Z축 (수 직) 1-10 HzZ축 (수 직) 10-80 HzX축 (좌 → 우) 1-10 HzX축 (좌 → 우) 10-80 HzY축 (앞 → 뒤) 1-10 HzY축 (앞 → 뒤) 10-80 Hz
바닥DCDDDC
제진대 상판GGFGGG

VC Curve — 스프링 교체 작업 후

측정 포인트Z축 (수 직) 1-10 HzZ축 (수 직) 10-80 HzX축 (좌 → 우) 1-10 HzX축 (좌 → 우) 10-80 HzY축 (앞 → 뒤) 1-10 HzY축 (앞 → 뒤) 10-80 Hz
바닥FCEEEE
제진대 상판GFGGGG

스프링 교체 전달률 비교

주파수스프링 교체 전스프링 교체 후감소량
Z 축- 34.8 dB(98% 감쇄)- 32.27 dB(97% 감쇄)2.53 dB
X 축10 Hz- 21.09 dB(91% 감쇄)- 17.1 dB(86% 감쇄)3.99 dB
Y 축- 23.35 dB(93% 감쇄)- 16.35 dB(84% 감쇄)7 dB

데이터와 그래프

조정 전 Z축 (수직) VC curves

조정 후 Z축 (수직) VC curves

조정 전 Z축 (수직) 전달률

5Hz에서 -24.89dB, 10Hz에서 -34.8dB 감쇄

녹색: 바닥의 진동, 적색: 상판의 진동

조정 후 Z축 (수직) 전달률

5Hz에서 -21.82dB, 10Hz에서 -32.27dB 감쇄

녹색: 바닥의 진동, 적색: 상판의 진동

조정 전 X축 (좌 → 우) VC curves

조정 후 X축 (좌 → 우) VC curves

조정 전 X축 (좌 → 우) 전달률

5Hz에서 -17.09dB, 10Hz에서 -21.09dB 감쇄

녹색: 바닥의 진동, 적색: 상판의 진동

조정 후 X축 (좌 → 우) 전달률

5Hz에서 -13.59dB, 10Hz에서 -17.1dB 감쇄

녹색: 바닥의 진동, 적색: 상판의 진동

조정 전 Y축 (앞 → 뒤) VC curves

조정 후 Y축 (앞 → 뒤) VC curves

조정 전 Y축 (앞 → 뒤) 전달률

5Hz에서 -19.52dB, 10Hz에서 -23.35dB 감쇄

녹색: 바닥의 진동, 적색: 상판의 진동

조정 후 Y축 (앞 → 뒤) 전달률

5Hz에서 -13.42dB, 10Hz에서 -16.35dB 감쇄

녹색: 바닥의 진동, 적색: 상판의 진동

참조

기준 곡선설명진폭
μm/s (µin/s)
Detail Size
μm
Workshop (ISO)Distinctly perceptible vibration. Appropriate to workshops and non-sensitive areas.800 (32,000)N/A
Office (ISO)Perceptible vibration. Appropriate to offices and non-sensitive areas.400 (16,000)N/A
Residential Area (ISO)Barely perceptible vibration. Appropriate to sleep areas in most instances.200 (8,000)75
Operating Theatre (ISO)Vibration not perceptible. Suitable for surgical suites, microscopes to 100x.100 (4,000)25
VC-AAdequate for optical microscopes to 400x, microbalances, optical balances.50 (2,000)8
VC-BAppropriate for inspection and lithography equipment to 3μm line widths.25 (1,000)3
VC-CAppropriate for optical microscopes to 1000x, lithography equipment to 1μm.12.5 (500)1 - 3
VC-DSuitable for demanding equipment including electron microscopes (SEMs/TEMs).6.25 (250)0.1 - 0.3
VC-EFor the most demanding systems including E-Beam lithography at nanometer scales.3.12 (125)< 0.1
VC-FFor extremely quiet research spaces. Not recommended as design criterion.1.56 (62.5)N/A
VC-GFor extremely quiet research spaces. Not recommended as design criterion.0.78 (31.25)N/A

*참고:*

- As measured in one-third octave bands over 8-80 Hz (VC-A/B) or 1-80 Hz (VC-C through VC-G).

- Detail size refers to width in microelectronics fabrication or particle size in medical research.

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설치 보고서
시리즈DVIA-ULF Series
작성일09-21-2022
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DVIA-UB350
220727R3
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