설치 보고서

DVIA-ULF Series

05-16-2022

LG Display Paju M2 SNU CTQ Equipment DVIA-UB350 (220211R02) Installation Report

DVIA-ULF Series

Installation Report

LG Display

SNU

SNU Precision

DVIA-UB350

220211R02

Prepared for

SNU Precision

엔지니어: 이 영 하

튜닝 일자

2022.05.12

보고서 작성일

2022.05.16

업무 출장 기간

17.12.27~17.12.29

개요

The DVIA-UB350 active vibration isolation platform is appropriately installed and functioning as intended.

시스템 정보

Model: DVIA-UB350(1260x800)

Serial Number: 220211R02

엔지니어

Youngha Lee, from DAEIL SYSTEMS

튜닝 일자 (년월일)

May 12, 2022

장소

LG Display(Paju) M2, Paju Gyeonggi

장비

SNU CTQ Equipment

측정 장비

7.1) PULSE 22

Hardware: Bruel & Kjaer Type 3050-A-040

Software: LapShop Application(PULSE Lapshop)

7.2) Sensor

PCB Accelerometer

Model: 393B05

진동 측정 결과 요약

Measurement Point	Z-axis (Vertical) / 1-10 Hz	Z-axis (Vertical) / 10-80 Hz	X-axis (Left to Right) / 1-10 Hz	X-axis (Left to Right) / 10-80 Hz	Y-axis (Front to Back) / 1-10 Hz	Y-axis (Front to Back) / 10-80 Hz
Floor	B	A	B	A	B	C
Active	E	D	C	D	C	E

데이터 및 이미지 (장비 Turn on)

Z-axis (Vertical) VC curves

Z-axis (Vertical) Transmissibility

X-axis (Left to Right) VC curves

X-axis (Left to Right) Transmissibility

Y-axis (Front to Back) VC curves

Y-axis (Front to Back) Transmissibility

참조

일반 진동 기준

기준 곡선	설명	진폭 μm/s (µin/s)	상세 크기 μm
Workshop (ISO)	뚜렷하게 감지되는 진동. 작업장 및 비민감 구역에 적합.	800 (32,000)	N/A
Office (ISO)	감지 가능한 진동. 사무실 및 비민감 구역에 적합.	400 (16,000)	N/A
Residential Area (ISO)	거의 감지되지 않는 진동. 대부분의 수면 구역에 적합.	200 (8,000)	75
Operating Theatre (ISO)	감지되지 않는 진동. 수술실, 100배율 현미경에 적합.	100 (4,000)	25
VC-A	400배율 광학 현미경, 미량 저울, 광학 저울에 적합.	50 (2,000)	8
VC-B	3μm 선폭의 검사 및 리소그래피 장비에 적합.	25 (1,000)	3
VC-C	1000배율 광학 현미경, 1μm 리소그래피 장비에 적합.	12.5 (500)	1 - 3
VC-D	전자 현미경(SEM/TEM) 등 고정밀 장비에 적합.	6.25 (250)	0.1 - 0.3
VC-E	나노미터 스케일 E-Beam 리소그래피 등 최고 정밀 시스템에 적합.	3.12 (125)	< 0.1
VC-F	극도로 조용한 연구 공간용. 설계 기준으로는 권장되지 않음.	1.56 (62.5)	N/A
VC-G	극도로 조용한 연구 공간용. 설계 기준으로는 권장되지 않음.	0.78 (31.25)	N/A

*참고:*

- 8-80 Hz(VC-A/B) 또는 1-80 Hz(VC-C~VC-G)에서 1/3 옥타브 대역으로 측정.

- 세부 크기는 마이크로일렉트로닉스 제조의 선폭 또는 의료 연구의 입자 크기를 의미합니다.

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케이스 스터디 정보

카테고리

설치 보고서

시리즈DVIA-ULF Series

작성일05-16-2022

태그

DVIA-ULF Series

Installation Report

LG Display

SNU

SNU Precision

DVIA-UB350

220211R02

LG Display Paju M2 SNU CTQ Equipment DVIA-UB350 (220211R02) Installation Report

목차

Prepared for

엔지니어: 이 영 하

튜닝 일자

보고서 작성일

업무 출장 기간

개요

시스템 정보

엔지니어

튜닝 일자 (년월일)

장소

장비

측정 장비

진동 측정 결과 요약

데이터 및 이미지 (장비 Turn on)

Z-axis (Vertical) VC curves

Z-axis (Vertical) Transmissibility

X-axis (Left to Right) VC curves

X-axis (Left to Right) Transmissibility

Y-axis (Front to Back) VC curves

Y-axis (Front to Back) Transmissibility

참조

일반 진동 기준

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