설치 보고서

DVIA-M Series

10-04-2022

Zeiss Sigma300 DVIA-M1000 Installation Report (XINSTEEL / Xinyu, 220812R3, 2022)

DVIA-M Series

Installation Report

DVIA-M1000

Zeiss

Sigma300

XINSTEEL

Xinyu

220812R3

End user (표지)

XINSTEEL

플랫폼 제목

(M1000_ 220812R3 Set up)

설치·셋업 사진

대상 장비

Zeiss Sigma300

설치 장소

Xinyu

비고

Good Performance

End user (표)

XINSTEEL

Operator

Yu, Ho Sang

설치일

22.09.14

보고서 작성일

22.10.04

출장 일정

17.12.27~17.12.29

개요

The DVIA-M1000 active vibration isolation platform is appropriately installed and functioning as intended.

측정일

2022.09.14 (Wednesday)

측정 Operator

DAEIL SYSTEMS, Hosang Yu

측정 장소

Xinyu

장비 모델

Zeiss Sigma300

측정 조건 및 결과

측정 결과 요약

Test Condition	Z	X	Y
Floor	C	B	C
Above Active	G	G	E

Good omnidirectional performance.

MB1000 internal program performance measurement result

Z axis

X axis

Y axis

Octave Band Result

Z axis

X axis

Y axis

Reference

일반 진동 기준

기준 곡선	설명	진폭 μm/s (µin/s)	세부 크기 μm
Workshop (ISO)	뚜렷하게 체감할 수 있는 진동 수준. 워크숍 및 민감하지 않은 구역에 적합.	800 (32,000)	N/A
Office (ISO)	인지 가능한 수준의 진동. 사무 공간 및 기타 민감하지 않은 환경에 적합.	400 (16,000)	N/A
Residential Area (ISO)	거의 느껴지지 않는 수준의 진동. 대부분의 수면 공간에 적절.	200 (8,000)	75
Operating Theatre (ISO)	진동이 감지되지 않는 수준. 외과 수술실, 100배율 이하 현미경에 적합.	100 (4,000)	25
VC-A	400배율 광학 현미경, 미세 저울, 광학 저울에 적합.	50 (2,000)	8
VC-B	3μm 선폭 검사 및 리소그래피 장비에 적합.	25 (1,000)	3
VC-C	1000배율 광학 현미경, 1μm 리소그래피 장비에 적합.	12.5 (500)	1 - 3
VC-D	전자현미경(SEM/TEM) 등 까다로운 장비에 적합.	6.25 (250)	0.1 - 0.3
VC-E	나노미터 스케일 E-Beam 리소그래피 등 가장 까다로운 시스템용.	3.12 (125)	< 0.1
VC-F	극도로 조용한 연구 공간용. 설계 기준으로는 권장되지 않음.	1.56 (62.5)	N/A
VC-G	극도로 조용한 연구 공간용. 설계 기준으로는 권장되지 않음.	0.78 (31.25)	N/A

참고:

- VC-A/B는 8-80 Hz, VC-C~VC-G는 1-80 Hz 범위의 1/3 옥타브 밴드에서 측정.

- 세부 크기는 마이크로일렉트로닉스 제조에서의 선폭 또는 의료 연구에서의 입자 크기를 의미.

이 케이스 스터디 공유하기

케이스 스터디 정보

카테고리

설치 보고서

시리즈DVIA-M Series

작성일10-04-2022

태그

DVIA-M Series

Installation Report

DVIA-M1000

Zeiss

Sigma300

XINSTEEL

Xinyu

220812R3

Zeiss Sigma300 DVIA-M1000 Installation Report (XINSTEEL / Xinyu, 220812R3, 2022)

End user (표지)

플랫폼 제목

설치·셋업 사진

대상 장비

설치 장소

비고

End user (표)

Operator

설치일

보고서 작성일

출장 일정

개요

측정일

측정 Operator

측정 장소

장비 모델

측정 조건 및 결과

측정 결과 요약

MB1000 internal program performance measurement result

Z axis

X axis

Y axis

Octave Band Result

Z axis

X axis

Y axis

Reference

이 케이스 스터디 공유하기

케이스 스터디 정보

관련 케이스 스터디

Grahope New Materials Technologies Zeiss Sigma300 DVIA-M1000 (211201R9) Internal Program Performance — 2022.07.21

RIGOL TECHNOLOGIES Sigma300 DVIA-M1000 (220907R4-1) Installation Report

Guangzhou Kingmed Sigma300 DVIA-M1000 (230401R1) Installation Report