설치 보고서

DVIA-M Series

04-20-2023

Crossbeam 350 NINGBO CAILIAO DVIA-M1000 (220728R1) Set up — MB1000 Internal Program Plots

DVIA-M Series

Installation Report

DVIA-M1000

220728R1

Crossbeam 350

NINGBO

장비 사진

Target equipment

Crossbeam 350

Place of installation

NINGBO

Remark

Good Performance

END USER

NINGBO CAILIAO

Operator

Operator: Lee, Young Ha

Date of setup

23.04.06

Date of reporting

23.04.20

Date of business trip

17.12.27~17.12.29

개요

The DVIA-M1000 active vibration isolation platform is appropriately installed and functioning as intended.

Measurement date

2023.04.06 (Thursday),

Operator: DAEIL SYSTEMS, Youngha Lee

Place of measurement

NINGBO

Equipment Model

Crossbeam 350

MB1000 내부 프로그램 성능 측정 결과

Z축

X축

Y축

Reference

일반 진동 기준

기준 곡선	설명	진폭 μm/s (µin/s)	세부 크기 μm
Workshop (ISO)	뚜렷하게 체감할 수 있는 진동 수준. 워크숍 및 민감하지 않은 구역에 적합.	800 (32,000)	N/A
Office (ISO)	인지 가능한 수준의 진동. 사무 공간 및 기타 민감하지 않은 환경에 적합.	400 (16,000)	N/A
Residential Area (ISO)	거의 느껴지지 않는 수준의 진동. 대부분의 수면 공간에 적절.	200 (8,000)	75
Operating Theatre (ISO)	진동이 감지되지 않는 수준. 외과 수술실, 100배율 이하 현미경에 적합.	100 (4,000)	25
VC-A	400배율 광학 현미경, 미세 저울, 광학 저울에 적합.	50 (2,000)	8
VC-B	3μm 선폭 검사 및 리소그래피 장비에 적합.	25 (1,000)	3
VC-C	1000배율 광학 현미경, 1μm 리소그래피 장비에 적합.	12.5 (500)	1 - 3
VC-D	전자현미경(SEM/TEM) 등 까다로운 장비에 적합.	6.25 (250)	0.1 - 0.3
VC-E	나노미터 스케일 E-Beam 리소그래피 등 가장 까다로운 시스템용.	3.12 (125)	< 0.1
VC-F	극도로 조용한 연구 공간용. 설계 기준으로는 권장되지 않음.	1.56 (62.5)	N/A
VC-G	극도로 조용한 연구 공간용. 설계 기준으로는 권장되지 않음.	0.78 (31.25)	N/A

참고:

- VC-A/B는 8-80 Hz, VC-C~VC-G는 1-80 Hz 범위의 1/3 옥타브 밴드에서 측정.

- 세부 크기는 마이크로일렉트로닉스 제조에서의 선폭 또는 의료 연구에서의 입자 크기를 의미.

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케이스 스터디 정보

카테고리

설치 보고서

시리즈DVIA-M Series

작성일04-20-2023

태그

DVIA-M Series

Installation Report

DVIA-M1000

220728R1

Crossbeam 350

NINGBO

Crossbeam 350 NINGBO CAILIAO DVIA-M1000 (220728R1) Set up — MB1000 Internal Program Plots

Contents

장비 사진

Target equipment

Place of installation

Remark

END USER

Operator

Date of setup

Date of reporting

Date of business trip

개요

Measurement date

Place of measurement

Equipment Model

MB1000 내부 프로그램 성능 측정 결과

Z축

X축

Y축

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