설치 보고서

DVIA-M Series

06-29-2023

Apple INC Thermo Fisher Scientific SPECTRA 200 DVIA-MB3000 (220524R2-1) Installation Report — 2023.06.29

DVIA-M Series

Installation Report

Apple INC

Thermo Fisher Scientific

SPECTRA 200

DVIA-MB3000

220524R2-1

의뢰 고객

Apple INC

작성 주체

N/A

개요

DVIA-MB3000 액티브 진동 제어 플랫폼이 적절하게 설치되어 의도한 대로 작동하고 있습니다.

진동 제어 시스템 정보

Model: DVIA-MB3000

Serial Number: 220524R2-1

엔지니어

Youngha Lee from DAEIL SYSTEMS

튜닝 날짜

June 29, 2023

보고서 작성일

2023.07.11

출장 일자

17.12.27~17.12.29

측정 장소

2630 Walsh Ave. Santa Clara, CA 95051

고객사 장비

Equipment: TFS SPECTRA 200

측정 결과 요약

측정 지점	VC curves	Z-axis (Vertical) 1-10 Hz	Z-axis (Vertical) 10-80 Hz	X-axis (Left to Right) 1-10 Hz	X-axis (Left to Right) 10-80 Hz	Y-axis (Front to Back) 1-10 Hz	Y-axis (Front to Back) 10-80 Hz
Floor	VC curves	E	E	G	G	F	G
Active	VC curves	G	G	G	G	G	G

데이터 및 이미지

8.1 UI Program Transmissibility

Z-axis (Vertical)

X-axis (Left to Right)

Y-axis (Front to Back)

VEC Measurement

Z-axis (Vertical) Transmissibility

Z-axis (Vertical) Floor VC Curve

Z-axis (Vertical) Active VC Curve

X-axis (Left to Right) Transmissibility

X-axis (Left to Right) Floor VC Curve

X-axis (Left to Right) Active VC Curve

Y-axis (Front to Back) Transmissibility

Y-axis (Front to Back) Floor VC Curve

Y-axis (Front to Back) Active VC Curve

8.3 Installed equipment photo

Reference

일반 진동 기준

기준 곡선	설명	진폭 μm/s (µin/s)	상세 크기 μm
Workshop (ISO)	뚜렷하게 감지되는 진동. 작업장 및 비민감 구역에 적합.	800 (32,000)	N/A
Office (ISO)	감지 가능한 진동. 사무실 및 비민감 구역에 적합.	400 (16,000)	N/A
Residential Area (ISO)	거의 감지되지 않는 진동. 대부분의 수면 구역에 적합.	200 (8,000)	75
Operating Theatre (ISO)	감지되지 않는 진동. 수술실, 100배율 현미경에 적합.	100 (4,000)	25
VC-A	400배율 광학 현미경, 미량 저울, 광학 저울에 적합.	50 (2,000)	8
VC-B	3μm 선폭의 검사 및 리소그래피 장비에 적합.	25 (1,000)	3
VC-C	1000배율 광학 현미경, 1μm 리소그래피 장비에 적합.	12.5 (500)	1 - 3
VC-D	전자 현미경(SEM/TEM) 등 고정밀 장비에 적합.	6.25 (250)	0.1 - 0.3
VC-E	나노미터 스케일 E-Beam 리소그래피 등 최고 정밀 시스템에 적합.	3.12 (125)	< 0.1
VC-F	극도로 조용한 연구 공간용. 설계 기준으로는 권장되지 않음.	1.56 (62.5)	N/A
VC-G	극도로 조용한 연구 공간용. 설계 기준으로는 권장되지 않음.	0.78 (31.25)	N/A

참고:

1. VC-A/B는 8-80 Hz의 1/3 옥타브 밴드에서, VC-C부터 VC-G는 1-80 Hz에서 측정됩니다.

2. 상세 크기는 마이크로일렉트로닉스 제조의 선폭 또는 의료 연구의 입자 크기를 의미합니다.

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케이스 스터디 정보

카테고리

설치 보고서

시리즈DVIA-M Series

작성일06-29-2023

태그

DVIA-M Series

Installation Report

Apple INC

Thermo Fisher Scientific

SPECTRA 200

DVIA-MB3000

220524R2-1

Apple INC Thermo Fisher Scientific SPECTRA 200 DVIA-MB3000 (220524R2-1) Installation Report — 2023.06.29

Contents

의뢰 고객

작성 주체

개요

진동 제어 시스템 정보

엔지니어

튜닝 날짜

보고서 작성일

출장 일자

측정 장소

고객사 장비

측정 결과 요약

데이터 및 이미지

8.1 UI Program Transmissibility

Z-axis (Vertical)

X-axis (Left to Right)

Y-axis (Front to Back)

VEC Measurement

Z-axis (Vertical) Transmissibility

Z-axis (Vertical) Floor VC Curve

Z-axis (Vertical) Active VC Curve

X-axis (Left to Right) Transmissibility

X-axis (Left to Right) Floor VC Curve

X-axis (Left to Right) Active VC Curve

Y-axis (Front to Back) Transmissibility

Y-axis (Front to Back) Floor VC Curve

Y-axis (Front to Back) Active VC Curve

8.3 Installed equipment photo

Reference

일반 진동 기준

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