설치 보고서
DVIA-P Series
05-27-2022
Tier-1 Semiconductor Hwaseong Hitachi CG6300 DVIA-P7000 Installation Report
DVIA-P Series
Installation Report
Tier-1 Semiconductor
Hwaseong
Hitachi
CG6300
DVIA-P7000
220126R3
Contents
개요
DVIA-P7000 능동형 제진대는 적절히 설치되어 의도한 대로 작동하고 있습니다.
시스템 정보
모델: DVIA-P7000
시리얼 번호: 220126R3
엔지니어
Youngha Lee from DAEIL SYSTEMS
튜닝 일자
2022년 5월 27일
설치 위치
Tier-1 Semiconductor V1 Line 10F, Hwaseong
장비
Hitachi CG6300
진동 결과 요약
| 측정 지점 | Z축(수직) 1-10 Hz | Z축(수직) 10-80 Hz | X축(좌우) 1-10 Hz | X축(좌우) 10-80 Hz | Y축(전후) 1-10 Hz | Y축(전후) 10-80 Hz |
|---|---|---|---|---|---|---|
| Floor | B | B | C | C | B | A |
| Active | D | D | D | D | D | C |
데이터 및 이미지
Z축(수직) VC 곡선
Floor
On active vibration isolation platform
X축(좌우) VC 곡선
Floor
On active vibration isolation platform
Y축(전후) VC 곡선
Floor
Above Active isolator
Reference
일반 진동 기준
참고:
- VC-A/B는 8-80 Hz, VC-C~VC-G는 1-80 Hz 범위의 1/3 옥타브 밴드에서 측정.
- 세부 크기는 마이크로일렉트로닉스 제조에서의 선폭 또는 의료 연구에서의 입자 크기를 의미.
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케이스 스터디 정보
카테고리
설치 보고서
시리즈DVIA-P Series
작성일05-27-2022
태그
DVIA-P Series
Installation Report
Tier-1 Semiconductor
Hwaseong
Hitachi
CG6300
DVIA-P7000
220126R3
