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설치 보고서
DVIA-M Series
04-20-2021

Thermo Fisher Scientific NXQ8000 Mask Aligner DVIA-MB1000 remote VEC (210302R3) Installation Report — 2021.04.20

DVIA-M Series
Installation Report
VEC
DVIA-MB1000
Thermo Fisher Scientific
NXQ8000
Mask Aligner
210302R3
remote

장비 사진

대상 장비

THERMO FISCHER NXQ8000 Mask Aligner

설치 장소

Thermo Fisher Scientific, CA (B1)

비고

Good Performance

엔드 유저

Thermo Fisher Scientific

오퍼레이터

Operator: Doohyun Kim

Date of setup : 21.04.16

Date of reporting : 21.04.20

Date of business trip : 17.12.27~17.12.29

개요

After Active mounting, measure the vibration environment to check that there is no problem in using the equipment.

측정 상세

Measurement date: 21.04.08 (Thu)

Operator: Daeil System, Research engineer Doohyun Kim

Place of measurement : Thermo Fisher Scientific, CA (B1)

Equipment Model: THERMO FISCHER NXQ8000 Mask Aligner

측정 조건 및 결과

측정 결과 요약

Test ConditionTransmissibility2 Hz5 Hz10 Hz
TransmissibilityZ-16 dB-21 dB-28 dB
X-1 dB-15 dB-18 dB
Y-10 dB-25 dB-28 dB
Test ConditionVC ClassFloorTop Plate
VC ClassZBF
XDG
YDG

Good omnidirectional performance.

MB1000 내장 프로그램 성능 측정 결과

MB1000 내장 프로그램 — Z axis

MB1000 내장 프로그램 — X axis

MB1000 내장 프로그램 — Y axis

VEC 측정 데이터

VEC 측정 데이터 — Z Axis

VEC 측정 데이터 — X Axis

VEC 측정 데이터 — Y Axis

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케이스 스터디 정보

카테고리
설치 보고서
시리즈DVIA-M Series
작성일04-20-2021
태그
DVIA-M Series
Installation Report
VEC
DVIA-MB1000
Thermo Fisher Scientific
NXQ8000
Mask Aligner
210302R3
remote