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설치 보고서
DVIA-M Series
02-09-2026

LG InnoTek ZEISS Xradia 620 Versa DVIA-MB3000 (201201R2) Installation Report — 2026.02.09

DVIA-M Series
Installation Report
LG InnoTek
ZEISS
Xradia 620 Versa
DVIA-MB3000
201201R2

개요

LG이노텍 구미 4공장 공장동 남서측 1층 X-ray CT Room로 이전 설치된 DVIA-MB3000 튜닝 및 진동측정 진행하였습니다.

고객사 장비 Turned on/IDLE 상태로 튜닝 및 진동 측정을 진행하였습니다.

Data를 VC Curves로 변환 후 진동 수준에 대한 Reference 자료를 제공합니다.

진동 제어 시스템 정보

모델: DVIA-MB3000

시리얼 넘버: 201201R2

엔지니어

대일시스템 필드엔지니어 이채원

점검 날짜

2026년 02월 09일

보고서 작성일

2026.02.09

설치 장소

LG이노텍 구미 4공장 공장동 남서측 1층 X-ray CT Room

End User

LG 이노텍

고객사 장비

Manufacturer: ZEISS

Equipment: X-ray Microscope

Model: Xradia 620 Versa

장비 스펙

장비 상태

장비 설치 및 Turned On/IDLE

진동 측정 장비

10.1) Data Physics DAQ

Hardware: QUATTRO, Serial Number: 22436

Software: SignalCalc ACE

10.2) Accelerometer

PCB Accelerometer

Model: 393B05

진동 측정 Setup

F Span: 200 Hz

Lines: 3200

Averaging: Spectrum Averaging

Engineering Units: m/s

Window: Hanning

Overlap: Max

결론

모든 방향에서 진동 스펙을 만족합니다.

모든 방향 고주파에서 바닥진동보다 DVIA-MB3000에서 진동이 높은 구간이 발생했습니다. 이는 Xradia 620 Versa 장비에서 발생하는 진동입니다.

측정 데이터

측정 장소방향진동 스펙바닥진동(측정)DVIA-MB3000(측정)바닥(결과)플랫폼(결과)
LG이노텍 구미 4공장 X-ray CT Room
1. 바닥진동
2. DVIA-MB3000
VerticalVC-CVC-B
@ 8 Hz
VC-F
@ 8 Hz
FAILPASS
Left to RightVC-CVC-D
@ 6.3 Hz
VC-G
@ 6.3 Hz
PASSPASS
Front to BackVC-CVC-E
@ 8 Hz
VC-G
@ 8 Hz
PASSPASS

데이터&이미지

Vertical VC Curves

Vertical Autospectrum

Vertical Transmissibility

Left to Right VC Curves

Left to Right Autospectrum

Left to Right Transmissibility

Front to Back VC Curves

Front to Back Autospectrum

Front to Back Transmissibility

Reference

일반 진동 기준

기준 곡선설명진폭
μm/s (µin/s)
상세 크기
μm
Workshop (ISO)뚜렷하게 감지되는 진동. 작업장 및 비민감 구역에 적합.800 (32,000)N/A
Office (ISO)감지 가능한 진동. 사무실 및 비민감 구역에 적합.400 (16,000)N/A
Residential Area (ISO)거의 감지되지 않는 진동. 대부분의 수면 구역에 적합.200 (8,000)75
Operating Theatre (ISO)감지되지 않는 진동. 수술실, 100배율 현미경에 적합.100 (4,000)25
VC-A400배율 광학 현미경, 미량 저울, 광학 저울에 적합.50 (2,000)8
VC-B3μm 선폭의 검사 및 리소그래피 장비에 적합.25 (1,000)3
VC-C1000배율 광학 현미경, 1μm 리소그래피 장비에 적합.12.5 (500)1 - 3
VC-D전자 현미경(SEM/TEM) 등 고정밀 장비에 적합.6.25 (250)0.1 - 0.3
VC-E나노미터 스케일 E-Beam 리소그래피 등 최고 정밀 시스템에 적합.3.12 (125)< 0.1
VC-F극도로 조용한 연구 공간용. 설계 기준으로는 권장되지 않음.1.56 (62.5)N/A
VC-G극도로 조용한 연구 공간용. 설계 기준으로는 권장되지 않음.0.78 (31.25)N/A

참고:

1. VC-A/B는 8-80 Hz의 1/3 옥타브 밴드에서, VC-C부터 VC-G는 1-80 Hz에서 측정됩니다.

2. 상세 크기는 마이크로일렉트로닉스 제조의 선폭 또는 의료 연구의 입자 크기를 의미합니다.

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케이스 스터디 정보

카테고리
설치 보고서
시리즈DVIA-M Series
작성일02-09-2026
태그
DVIA-M Series
Installation Report
LG InnoTek
ZEISS
Xradia 620 Versa
DVIA-MB3000
201201R2