LG InnoTek ZEISS Xradia 620 Versa DVIA-MB3000 (201201R2) Installation Report — 2026.02.09
Contents
개요
LG이노텍 구미 4공장 공장동 남서측 1층 X-ray CT Room로 이전 설치된 DVIA-MB3000 튜닝 및 진동측정 진행하였습니다.
고객사 장비 Turned on/IDLE 상태로 튜닝 및 진동 측정을 진행하였습니다.
Data를 VC Curves로 변환 후 진동 수준에 대한 Reference 자료를 제공합니다.
진동 제어 시스템 정보
모델: DVIA-MB3000
시리얼 넘버: 201201R2
엔지니어
대일시스템 필드엔지니어 이채원
점검 날짜
2026년 02월 09일
보고서 작성일
2026.02.09
설치 장소
LG이노텍 구미 4공장 공장동 남서측 1층 X-ray CT Room
End User
LG 이노텍
고객사 장비
Manufacturer: ZEISS
Equipment: X-ray Microscope
Model: Xradia 620 Versa
장비 스펙
장비 상태
장비 설치 및 Turned On/IDLE
진동 측정 장비
10.1) Data Physics DAQ
Hardware: QUATTRO, Serial Number: 22436
Software: SignalCalc ACE
10.2) Accelerometer
PCB Accelerometer
Model: 393B05
진동 측정 Setup
F Span: 200 Hz
Lines: 3200
Averaging: Spectrum Averaging
Engineering Units: m/s
Window: Hanning
Overlap: Max
결론
모든 방향에서 진동 스펙을 만족합니다.
모든 방향 고주파에서 바닥진동보다 DVIA-MB3000에서 진동이 높은 구간이 발생했습니다. 이는 Xradia 620 Versa 장비에서 발생하는 진동입니다.
측정 데이터
| 측정 장소 | 방향 | 진동 스펙 | 바닥진동(측정) | DVIA-MB3000(측정) | 바닥(결과) | 플랫폼(결과) |
|---|---|---|---|---|---|---|
| LG이노텍 구미 4공장 X-ray CT Room 1. 바닥진동 2. DVIA-MB3000 | Vertical | VC-C | VC-B @ 8 Hz | VC-F @ 8 Hz | ✗ FAIL | ✓ PASS |
| Left to Right | VC-C | VC-D @ 6.3 Hz | VC-G @ 6.3 Hz | ✓ PASS | ✓ PASS | |
| Front to Back | VC-C | VC-E @ 8 Hz | VC-G @ 8 Hz | ✓ PASS | ✓ PASS |
데이터&이미지
Vertical VC Curves
Vertical Autospectrum
Vertical Transmissibility
Left to Right VC Curves
Left to Right Autospectrum
Left to Right Transmissibility
Front to Back VC Curves
Front to Back Autospectrum
Front to Back Transmissibility
Reference
일반 진동 기준
참고:
1. VC-A/B는 8-80 Hz의 1/3 옥타브 밴드에서, VC-C부터 VC-G는 1-80 Hz에서 측정됩니다.
2. 상세 크기는 마이크로일렉트로닉스 제조의 선폭 또는 의료 연구의 입자 크기를 의미합니다.
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케이스 스터디 정보
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