설치 보고서

08-28-2020

베이징 소프트웨어 테스팅 Thermo Scientific Scios 2 DVIA-MB1000(191211R4 · P154) 원격 성능평가 — 내부 프로그램 Z/X/Y 플롯 — 2020.08.28

DVIA-M Series

Installation Report

DVIA-MB1000

191211R4

Thermo Scientific

Scios 2

Beijing

YIMO

National Application Software Testing Labs

SEM

DVIA-ML1000

(MB1000_191211R4(P154) Set up)

Target equipment	Thermo scientific scios2
Place of installation	Beijing Software Testing & QA Center
Remark	Good Performance
END USER	National Application Software Testing Labs
Operator: Munho Noh	Date of business trip : 17.12.27~17.12.29
Operator: Munho Noh	Date of business trip : 17.12.27~17.12.29
Date of setup : 20.08.28	Date of reporting : 20.08.28

개요

After Active mounting, measure the vibration environment to check that there is no problem in using the equipment.

Measurement date: 20.08.28 (FRI),

Operator: Daeil System, Research engineer Munho Noh

Place of measurement : Beijing Software Testing & QA Center

Equipment Model: Thermo scientific scios2

측정 조건 및 결과

측정 결과 요약

Test Condition

Transmissibility

	2 Hz	5 Hz	10 Hz
Z	-21.00dB	-23.20 dB	-26.07dB
X	-24.49 dB	-27.62 dB	-30.39 dB
Y	-27.18 dB	-36.58 dB	-22.84 dB

Good omnidirectional performance.

MB1000 internal program performance measurement result

Z축

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X축

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Y축

이미지 3 · 베이징 소프트웨어 테스팅 Thermo Scientific Scios 2 DVIA-MB1000(191211R4 · P154) 원격 성능평가 — 내부 프로그램 Z/X/Y 플롯 — 2020.08.28

Reference

일반 진동 기준

기준 곡선	설명	진폭 μm/s (µin/s)	세부 크기 μm
Workshop (ISO)	뚜렷하게 체감할 수 있는 진동 수준. 워크숍 및 민감하지 않은 구역에 적합.	800 (32,000)	N/A
Office (ISO)	인지 가능한 수준의 진동. 사무 공간 및 기타 민감하지 않은 환경에 적합.	400 (16,000)	N/A
Residential Area (ISO)	거의 느껴지지 않는 수준의 진동. 대부분의 수면 공간에 적절.	200 (8,000)	75
Operating Theatre (ISO)	진동이 감지되지 않는 수준. 외과 수술실, 100배율 이하 현미경에 적합.	100 (4,000)	25
VC-A	400배율 광학 현미경, 미세 저울, 광학 저울에 적합.	50 (2,000)	8
VC-B	3μm 선폭 검사 및 리소그래피 장비에 적합.	25 (1,000)	3
VC-C	1000배율 광학 현미경, 1μm 리소그래피 장비에 적합.	12.5 (500)	1 - 3
VC-D	전자현미경(SEM/TEM) 등 까다로운 장비에 적합.	6.25 (250)	0.1 - 0.3
VC-E	나노미터 스케일 E-Beam 리소그래피 등 가장 까다로운 시스템용.	3.12 (125)	< 0.1
VC-F	극도로 조용한 연구 공간용. 설계 기준으로는 권장되지 않음.	1.56 (62.5)	N/A
VC-G	극도로 조용한 연구 공간용. 설계 기준으로는 권장되지 않음.	0.78 (31.25)	N/A

참고:

- VC-A/B는 8-80 Hz, VC-C~VC-G는 1-80 Hz 범위의 1/3 옥타브 밴드에서 측정.

- 세부 크기는 마이크로일렉트로닉스 제조에서의 선폭 또는 의료 연구에서의 입자 크기를 의미.

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