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설치 보고서
DVIA-M Series
10-28-2019

Handu Package MO1000 P20 vibration survey — Hirox microscope (Incheon Namdong)

DVIA-M Series
Installation Report
Handu Package
Hirox
Incheon
MO1000
DVIA-M1000
DVIA-ML1000

(한두패키지)

출장일

2019.10.25 (금)

작성일

2019.10.28 (월)

출장자

최성원 과장

개요

제진대 설치 후 진동환경을 측정하여 장비 사용에 문제가 없는지 확인함.

측정일: 2019. 10. 25(금), 측정자: 대일시스템 최성원 과장

측정장소 인천 남동공단 한두패키지

장비 모델 : 하이록스(Hirox) 현미경

측정 조건 및 결과

측정 조건: MO1000의 상판과 건물 바닥을 측정.

측정결과 요약

ZXY
바닥BCC
제진대 상부FGF

비고

4개의 제진유닛 중 하나의 높이조정 상태가 지나치게 높아져 스토퍼에 걸린 상태였으며, 이를 재조정 한 뒤 정상 동작.

4개 유닛 중 1개의 커버가 조립된 상태였는데, 커버 조립 시 상판과 커버가 접촉되어 진동이 전달될 수 있는 상황이었음. 문제의 소지가 있어 커버를 분리하였음.

전 방향 제진성능 양호

제진대 상부 진동레벨은 F Class로 양호함

진동환경 VC-CLASS 그래프

수직축(Z) 진동레벨

수평축(X) 진동레벨

수평축(Y) 진동레벨

Reference

일반 진동 기준

기준 곡선설명진폭
μm/s (µin/s)
세부 크기
μm
Workshop (ISO)뚜렷하게 체감할 수 있는 진동 수준. 워크숍 및 민감하지 않은 구역에 적합.800 (32,000)N/A
Office (ISO)인지 가능한 수준의 진동. 사무 공간 및 기타 민감하지 않은 환경에 적합.400 (16,000)N/A
Residential Area (ISO)거의 느껴지지 않는 수준의 진동. 대부분의 수면 공간에 적절.200 (8,000)75
Operating Theatre (ISO)진동이 감지되지 않는 수준. 외과 수술실, 100배율 이하 현미경에 적합.100 (4,000)25
VC-A400배율 광학 현미경, 미세 저울, 광학 저울에 적합.50 (2,000)8
VC-B3μm 선폭 검사 및 리소그래피 장비에 적합.25 (1,000)3
VC-C1000배율 광학 현미경, 1μm 리소그래피 장비에 적합.12.5 (500)1 - 3
VC-D전자현미경(SEM/TEM) 등 까다로운 장비에 적합.6.25 (250)0.1 - 0.3
VC-E나노미터 스케일 E-Beam 리소그래피 등 가장 까다로운 시스템용.3.12 (125)< 0.1
VC-F극도로 조용한 연구 공간용. 설계 기준으로는 권장되지 않음.1.56 (62.5)N/A
VC-G극도로 조용한 연구 공간용. 설계 기준으로는 권장되지 않음.0.78 (31.25)N/A

참고:

- VC-A/B는 8-80 Hz, VC-C~VC-G는 1-80 Hz 범위의 1/3 옥타브 밴드에서 측정.

- 세부 크기는 마이크로일렉트로닉스 제조에서의 선폭 또는 의료 연구에서의 입자 크기를 의미.

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케이스 스터디 정보

카테고리
설치 보고서
시리즈DVIA-M Series
작성일10-28-2019
태그
DVIA-M Series
Installation Report
Handu Package
Hirox
Incheon
MO1000
DVIA-M1000
DVIA-ML1000