설치 보고서
DVIA-M Series
10-28-2019
Handu Package MO1000 P20 vibration survey — Hirox microscope (Incheon Namdong)
DVIA-M Series
Installation Report
Handu Package
Hirox
Incheon
MO1000
DVIA-M1000
DVIA-ML1000
Contents
(한두패키지)
출장일
2019.10.25 (금)
작성일
2019.10.28 (월)
출장자
최성원 과장
개요
제진대 설치 후 진동환경을 측정하여 장비 사용에 문제가 없는지 확인함.
측정일: 2019. 10. 25(금), 측정자: 대일시스템 최성원 과장
측정장소 인천 남동공단 한두패키지
장비 모델 : 하이록스(Hirox) 현미경
측정 조건 및 결과
측정 조건: MO1000의 상판과 건물 바닥을 측정.
측정결과 요약
| Z | X | Y | |
|---|---|---|---|
| 바닥 | B | C | C |
| 제진대 상부 | F | G | F |
비고
4개의 제진유닛 중 하나의 높이조정 상태가 지나치게 높아져 스토퍼에 걸린 상태였으며, 이를 재조정 한 뒤 정상 동작.
4개 유닛 중 1개의 커버가 조립된 상태였는데, 커버 조립 시 상판과 커버가 접촉되어 진동이 전달될 수 있는 상황이었음. 문제의 소지가 있어 커버를 분리하였음.
전 방향 제진성능 양호
제진대 상부 진동레벨은 F Class로 양호함
진동환경 VC-CLASS 그래프
수직축(Z) 진동레벨
수평축(X) 진동레벨
수평축(Y) 진동레벨
Reference
일반 진동 기준
참고:
- VC-A/B는 8-80 Hz, VC-C~VC-G는 1-80 Hz 범위의 1/3 옥타브 밴드에서 측정.
- 세부 크기는 마이크로일렉트로닉스 제조에서의 선폭 또는 의료 연구에서의 입자 크기를 의미.
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케이스 스터디 정보
카테고리
설치 보고서
시리즈DVIA-M Series
작성일10-28-2019
태그
DVIA-M Series
Installation Report
Handu Package
Hirox
Incheon
MO1000
DVIA-M1000
DVIA-ML1000
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