Institute for Basic Science NIKON ECLIPSE DVIA-UD350 (P12) Performance Report

DVIA-U Series

Installation Report

Institute for Basic Science

Nikon

ECLIPSE

DVIA-UD350

P12

201906

기초과학연구원(UD350_P12 Set_Up)

현장 확인 항목

타겟 장비	NIKON_ECLIPSE
설치장소	기초과학연구원 2층 분석실
특이사항	제진대 성능 양호
END USER	기초과학연구원

출장·작성 일정

출장일 : 19.06.10

출장자 : 최형문

작성일 : 19.06.11

개요

제진대 설치 후 진동환경을 측정하여 장비 사용에 문제가 없는지 확인함. 측정일: 2019.06.10(월), 측정자: 대일시스템 최형문 과장 측정장소 : 기초과학연구원 2층 분석실 장비 모델 : NIKON_ECLIPSE

측정 요약 (VC-Class, 일반 조건)

측정 조건	VC-Class (일반 조건)
	Z
건물 바닥	D
제진대 상판	G

전 방향 성능이 양호하며, VC-Class그래프를 첨부함. 측정 조건은 일반 조건( SEM 펌프 가동 )과 평상시 조건(SEM/코팅기 펌프 가동/사람이 걸어 다닐 때)으로 측정함. 주변 펌프가 작동하거나 사람이 돌아다니는 등 환경이 변화해도 제진대 상부의 진동 환경에는 큰 영향을 주지 않음. 이미지 측정시 고객 성능 만족함.