설치 보고서

DVIA-ULF Series

06-11-2019

Institute for Basic Science NIKON ECLIPSE DVIA-UD350 (P14) Performance Report

DVIA-U Series

Installation Report

Institute for Basic Science

Nikon

ECLIPSE

DVIA-UD350

P14

201906

기초과학연구원(UD350_P14 Set_Up)

현장 확인 항목

타겟 장비	NIKON_ECLIPSE
설치장소	기초과학연구원 2층 분석실
특이사항	제진대 성능 양호
END USER	기초과학연구원

출장·작성 일정

출장일 : 19.06.10

출장자 : 최형문

작성일 : 19.06.11

개요

제진대 설치 후 진동환경을 측정하여 장비 사용에 문제가 없는지 확인함. 측정일: 2019.06.10(월), 측정자: 대일시스템 최형문 과장 측정장소 : 기초과학연구원 2층 분석실 장비 모델 : NIKON_ECLIPSE

측정 요약 (VC-Class, 일반 조건)

측정 조건	VC-Class (일반 조건)
	Z
건물 바닥	C
제진대 상판	G

전 방향 성능이 양호하며, VC-Class그래프를 첨부함. 측정 조건은 일반 조건( SEM 펌프 가동 )과 평상시 조건(SEM/코팅기 펌프 가동/사람이 걸어 다닐 때)으로 측정함. 주변 펌프가 작동하거나 사람이 돌아다니는 등 환경이 변화해도 제진대 상부의 진동 환경에는 큰 영향을 주지 않음. 이미지 측정시 고객 성능 만족함.

U350 내부 프로그램 성능 측정 결과

Z축 (내부 프로그램)

X축 (내부 프로그램)

Y축 (내부 프로그램)

Octave Band Result (BASE: 바닥, TOP: 제진대 상부)

Z축 (옥타브 밴드)

X축 (옥타브 밴드)

Y축 (옥타브 밴드)

참조

기준 곡선	설명	진폭 μm/s (µin/s)	세부 크기 μm
Workshop (ISO)	사람이 뚜렷이 느낄 수 있는 진동. 작업장·비민감 구역에 적합.	800 (32,000)	N/A
Office (ISO)	사람이 느낄 수 있는 진동. 사무실·비민감 구역에 적합.	400 (16,000)	N/A
Residential Area (ISO)	거의 느껴지지 않는 진동. 대부분의 수면 구역에 적합.	200 (8,000)	75
Operating Theatre (ISO)	진동이 느껴지지 않음. 수술실·100배까지 현미경에 적합.	100 (4,000)	25
VC-A	400배 광학 현미경, 마이크로밸런스, 광학 밸런스에 적합.	50 (2,000)	8
VC-B	3μm 라인폭 검사·리소그래피 장비에 적합.	25 (1,000)	3
VC-C	1000배 광학 현미경, 1μm 리소그래피 장비에 적합.	12.5 (500)	1 - 3
VC-D	SEM/TEM 등 까다로운 장비에 적합.	6.25 (250)	0.1 - 0.3
VC-E	나노미터 스케일 E-Beam 리소그래피 등 가장 까다로운 장비용.	3.12 (125)	< 0.1
VC-F	극도로 조용한 연구 공간용. 설계 기준으로 권장되지 않음.	1.56 (62.5)	N/A
VC-G	극도로 조용한 연구 공간용. 설계 기준으로 권장되지 않음.	0.78 (31.25)	N/A

*참고:*

- VC-A/B는 8–80 Hz, VC-C~VC-G는 1–80 Hz 범위의 1/3 옥타브 밴드에서 측정.

- Detail size는 마이크로일렉트로닉스 제조의 선폭 또는 의료 연구의 입자 크기를 의미.

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