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설치 보고서
DVIA-M Series
10-26-2017

Qualcomm Wuxi ZEISS Crossbeam 540 DVIA-MB1000 (MB1000 P47) China trip report — 2017.10.26

DVIA-M Series
Installation Report
Qualcomm
Wuxi
ZEISS
Crossbeam 540
DVIA-MB1000
MB1000
P47

중국 출장 보고서 (MB1000_P47 Set up)

VC-Class (일반 조건)

타겟 장비

ZEISS-CROSSBEAM 540

설치장소

중국 WUXI

특이사항

기업 연구동 1층에 설치

END USER

QUALCOMM

출장일

출장일 : 17.10.21~17.10.25

출장자

출장자 : 최형문

작성일

작성일 : 17.10.26

개요

제진대 설치 후 진동환경을 측정하여 장비 사용에 문제가 없는지 확인함.

측정일

측정일: 2017. 10. 24 (화), 측정자: 대일시스템 최형문 과장

측정장소

측정장소 : QUALCOMM 1층 연구소

장비 모델

장비 모델 : ZEISS-CROSSBEAM 540

측정 조건 및 결과

측정결과 요약

Test ConditionZXY
건물 바닥EEF
제진대 상판GGG

전 방향 성능이 양호하며, VC-Class그래프를 첨부함.

측정 조건은 일반 조건( SEM 펌프 가동 )과 악의 조건( SEM/코팅기 펌프 가동/사람이 걸어 다닐 때)으로 측정함.

주변 펌프가 작동하거나 사람이 돌아다니는 등 환경이 변화해도 제진대 상부의 진동 환경에는 큰 영향을 주지 않음.

이미지 측정시 고객 성능 만족함.

MB1000 내부 프로그램 성능 측정 결과

Z축 (MB1000 내부 프로그램)

X축 (MB1000 내부 프로그램)

Y축 (MB1000 내부 프로그램)

Octave Band Result

Z축 (옥타브 밴드)

X축 (옥타브 밴드)

Y축 (옥타브 밴드)

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케이스 스터디 정보

카테고리
설치 보고서
시리즈DVIA-M Series
작성일10-26-2017
태그
DVIA-M Series
Installation Report
Qualcomm
Wuxi
ZEISS
Crossbeam 540
DVIA-MB1000
MB1000
P47