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설치 보고서
DVIA-T Series
02-21-2023

LG Innotek RiDAR Test Equipment DVIA-T56 (170117R1) Installation Report

DVIA-T Series
Installation Report
LG Innotek
DVIA-T56
170117R1
RiDAR

Contents

개요

DVIA-T56 액티브 진동 제어 플랫폼이 적절히 설치되어 의도한 대로 작동하고 있습니다.

고객용 UI 프로그램 설치가 완료되었습니다.

시스템 정보

모델: DVIA-T56

시리얼 넘버: 170117R1

엔지니어

DAEIL SYSTEMS 이영하

튜닝 일자

2023년 2월 21일

측정 위치

LG이노텍, 파주

장비

RiDAR Test Equipment

Prepared by

Engineer: Youngha Lee

Tuning date: 23.02.21

Report written date: 23.02.21

Date of business trip: 17.12.27~17.12.29

진동 측정 결과 요약

측정 위치Z축(수직) 1-10 HzZ축(수직) 10-80 HzX축(좌우) 1-10 HzX축(좌우) 10-80 HzY축(전후) 1-10 HzY축(전후) 10-80 Hz
FloorEBBCCB
ActiveGGGGGG

데이터 및 이미지

Z축(수직) Floor VC curves

Z축(수직) Top VC curves

X축(좌우) Floor VC curves

X축(좌우) Top VC curves

Y축(전후) Floor VC curves

Y축(전후) Top VC curves

Z축(수직) Floor VC curves(With CCM Shock)

Z축(수직) Top VC curves (With CCM Shock)

Z축(수직) Floor VC curves(With L/TM Shock)

Z축(수직) Top VC curves(With L/TM Shock)

Transmissibility Graph

Reference

일반 진동 기준

기준 곡선설명진폭
μm/s (µin/s)		세부 크기
μm
Workshop (ISO)뚜렷하게 체감할 수 있는 진동 수준. 워크숍 및 민감하지 않은 구역에 적합.800 (32,000)N/A
Office (ISO)인지 가능한 수준의 진동. 사무 공간 및 기타 민감하지 않은 환경에 적합.400 (16,000)N/A
Residential Area (ISO)거의 느껴지지 않는 수준의 진동. 대부분의 수면 공간에 적절.200 (8,000)75
Operating Theatre (ISO)진동이 감지되지 않는 수준. 외과 수술실, 100배율 이하 현미경에 적합.100 (4,000)25
VC-A400배율 광학 현미경, 미세 저울, 광학 저울에 적합.50 (2,000)8
VC-B3μm 선폭 검사 및 리소그래피 장비에 적합.25 (1,000)3
VC-C1000배율 광학 현미경, 1μm 리소그래피 장비에 적합.12.5 (500)1 - 3
VC-D전자현미경(SEM/TEM) 등 까다로운 장비에 적합.6.25 (250)0.1 - 0.3
VC-E나노미터 스케일 E-Beam 리소그래피 등 가장 까다로운 시스템용.3.12 (125)< 0.1
VC-F극도로 조용한 연구 공간용. 설계 기준으로는 권장되지 않음.1.56 (62.5)N/A
VC-G극도로 조용한 연구 공간용. 설계 기준으로는 권장되지 않음.0.78 (31.25)N/A

참고:

- VC-A/B는 8-80 Hz, VC-C~VC-G는 1-80 Hz 범위의 1/3 옥타브 밴드에서 측정.

- 세부 크기는 마이크로일렉트로닉스 제조에서의 선폭 또는 의료 연구에서의 입자 크기를 의미.

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케이스 스터디 정보

카테고리
설치 보고서
시리즈DVIA-T Series
작성일02-21-2023
태그
DVIA-T Series
Installation Report
LG Innotek
DVIA-T56
170117R1
RiDAR

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