China business trip report — MB1000 P17 setup, T56 service, and T78 / Newport measurements (May 2016)
목차
보고서 제목 및 범위
중국 출장 보고서
(MB1000_P17 Set up / T56 점검 / T78 측정)
타겟 장비명 – EVO 18 ( ZEISS SEM )
출장일·출장자·작성일
| 항목 | 내용 |
|---|---|
| 출장일 | 16.05.23 ~ 16.05.26 |
| 출장자 | 최형문, 임종욱 |
| 작성일 | 2016.05.27 |
출장 일정
16.05.23 — 출국, 상해 옵튼 방문. T56_150kg 점검 및 협의.
16.05.24 — MB1000_P17 셋업 진행 (WOJIN group). 장비 이미지 확인. 진동 환경 측정 및 고객 대응.
16.05.25 — University of Science and Technology 방문. T78 및 Newport 제품 성능측정.
16.05.26 — NEMO 사무실 방문, T56 튜닝 프로그램 관련 교육 및 협의. 상해 옵튼 방문, 옵튼 대표와 미팅. 귀국.
1. MB1000_P17 셋업 (ZEISS SEM)
설치 결과 요약
| 측정 방향 | Base | Top |
|---|---|---|
| Z | C | F |
| X | D | E |
| Y | C | E |
전 방향 성능 양호.
바닥 진동환경은 수직축 C Class, 수평축 X는 D Class, 수평축 Y는 C Class로 측정되었음.
액티브 시 제진대 상판 진동환경은 수직축 F Class, 수평축 X는 E Class, 수평축 Y는 E Class로 성능이 양호함.
장비의 이미지를 촬영하여 제진이 잘 되고 있음을 확인하였음.
MB1000 내장 프로그램 성능 측정 결과
Z axis
X axis
Y axis
MB1000 진동환경 측정 결과
Z axis
X axis
Y axis
Image 비교
FLOOR
PASSIVE
ACTIVE
2. T56_150kg 점검
점검 결과
제품의 제진 성능이 양호한 상태임. 이상 무.
옵튼에서 이미지가 흔들린다는 문의가 들어와 NEMO가 점검을 요청하였음.
점검 결과 바닥 진동이 아닌 다른 원인으로 인해 이미지가 흔들리는 것으로 추정됨.
옵튼 대표, NEMO와 관련 사항에 대해 미팅을 진행하였고, 옵튼 대표는 제진대의 성능에 대해 만족함.
T56 성능측정 결과
Z axis
X axis
Y axis
3. T78 및 NEWPORT 제품 성능 측정
USTC 방문 사진 1
USTC 방문 사진 2
DVIA-T78, S-2000A Pneumatic Isolator, Newport Optical Table system
University of Science and Technology 에 방문하여 T78의 성능을 측정하였음.
고객의 요청으로 기존에 설치되어 있던 NEWPORT 제품의 성능을 측정하고 비교하였음.
T78의 성능에 대해 고객이 매우 만족하고 있음.
T78 성능측정 결과
Z axis
X axis
Y axis
S-2000A Pneumatic Isolator 성능측정 결과
Z axis
X axis
Y axis
Newport Optical Table system 성능측정 결과
Z axis
X axis
Y axis
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