Samsung Advanced Institute of Technology SAIT Nikon NSR-2205i12D DVIA-P7000 Inspection Report
Contents
개요
DVIA-P7000의 동작 상태 점검 및 진동측정.
장비 IDLE 상태로 점검 및 진동 측정 진행하였음. (일반적으로 10-30Hz 장비 진동)
진동측정 결과 전체적인 성능이 떨어지지만, 2023. 04. 14에 측정한 같은 Stepper 장비 Turn off 상태에서의 Graph와 비교하면 장비 IDLE 진동에 의해 상부진동이 높게 측정된 것임을 추측할 수 있음 [140416R6-1 Report 참고]
시스템 정보
모델: DVIA-P7000
시리얼 넘버: 140416R6-2
Serial Number (SAC-07): 022601
엔지니어
Youngha Lee, Jongwon Park from DAEIL SYSTEMS
점검 날짜
2023년 12월 12일
보고서 작성일
2023년 12월 18일
출장 일정
Date of business trip : 17.12.27~17.12.29
Prepared for
Samsung Advanced Institute of Technology
설치 장소
SAIT Cleanroom Building A, Suwon
장비
Stepper NSR-2205i12D
진동 결과 요약
| 측정 지점 | Z축(수직) 1–10 Hz | Z축(수직) 12.5–80 Hz | X축(좌우) 1–10 Hz | X축(좌우) 12.5–80 Hz | Y축(전후) 1–10 Hz | Y축(전후) 12.5–80 Hz |
|---|---|---|---|---|---|---|
| Floor | F | A | D | Residential Area (ISO) | F | A |
| Active | C | OperationTheatre (ISO) | D | B | E | C |
현장 참고
일반적으로 장비가 IDLE 상태일 때, 10-30Hz 대역 또는 고주파 대역에서 장비진동이 발생하므로 상판 측정 시 해당 진동이 측정될 수 있습니다.
2023년 04월 14일 점검한 제품과 같은 Stepper 장비로 당시 자료와 비교하면 장비 IDLE 진동의 영향으로 상부 진동이 높게 측정되었음을 추측할 수 있습니다. [140416R6-1 Report 참고]
제진대의 정확한 점검 및 튜닝을 위해서는 상부장비의 완전한 Turn off가 필요합니다.
진동 측정
8.1) PULSE 22
Hardware: Bruel & Kjaer Type 3050-A-040
Software: LapShop Application(PULSE Lapshop)
8.2) Accelerometer
PCB Accelerometer
Model: 393B05
데이터 및 이미지
가속도 센서와 변위 센서가 진동의 변화를 올바르게 센싱하고 정상 작동합니다.
Accelerometer Sensor
Displacement Sensor
Z-axis (Vertical) Passive Transmissibility
Passive Transmissibility Graph에서 DVIA-P의 공진봉이 10Hz 이하지만 비대칭형으로 출력됩니다.
10Hz, 20-80Hz 대역에서 설치 구조, Utility에 의한 공진봉과 장비 IDLE 진동에 의한 공진봉이 있습니다.
Z-axis (Vertical) Feedforward Transmissibility, FFT Vibration (Floor, Active)
Active Transmissibility Graph에서 1-7Hz 대역에서 Transmissibility 0dB 이상으로 설치 구조, Utility에 의한 진동과 상부 장비 IDLE 진동이 의심됩니다.
나머지 대역에서도 상부 장비 IDLE 진동으로 의심되는 공진봉이 다수 존재합니다.
X-axis (Left to Right) Passive Transmissibility
[No Picture]
X-axis (Left to Right) Transmissibility, FFT Vibration (Floor, Active)
Active Transmissibility Graph에서 1-10Hz 대역에서 Transmissibility 0dB 이상의 저조한 성능을 보이는데, 설치 구조, Utility에 의한 영향 혹은 장비 IDLE 상태 진동으로 의심됩니다.
50, 60, 80 Hz에서는 장비 IDLE 상태 진동에 대한 공진봉이 나타납니다.
Y-axis (Front to Back) Passive Transmissibility
Passive Transmissibility Graph에서 DVIA-P의 공진봉이 10Hz 이하지만 뭉툭한 형태로 출력됩니다.
35, 42, 50Hz 대역에서 장비 IDLE 진동에 의한 공진봉이 있습니다.
Y-axis (Front to Back) Transmissibility, FFT Vibration (Floor, Active)
Active Transmissibility Graph에서 1-10Hz 대역에서 Transmissibility 0dB 이상의 저조한 성능을 보이는데, 설치 구조, Utility에 의한 영향 혹은 장비 IDLE 상태 진동으로 의심됩니다.
35 Hz에서는 장비 IDLE 상태 진동에 대한 공진봉이 나타납니다.
Z-axis (Vertical) VC curves
저주파 대역에서는 VC-F 이하로 진동이 적어 비례진동의 특성상 낮은 감쇠율이 출력되지만 그 상승폭이 큽니다. 장비 IDLE진동 혹은 설치 구조/Utility 설치 환경에 의한 영향일 수 있습니다.
위 그래프에서 10-60Hz 대역에서 하판의 진동보다 상판이 진동이 더 크게 출력되는데 Daeil UI Program Transmissibility Graph과 비교하여 확인 시 해당 진동은 상부 장비의IDLE상태 진동으로 추측됩니다.
같은 Stepper장비 Turn off 시 측정한 결과에 따르면 장비 IDLE 상태 진동에 의한 영향일 가능성이 큽니다. [140416R6-1 Report 참고]
Z-axis (Vertical) VC curves (21.12.15 측정)
X-axis (Left to Right) VC curves
저주파 대역에서는 VC-F 이하로 진동이 적어 비례진동의 특성상 낮은 감쇠율이 출력됩니다.
10Hz 대역까지는 성능이 다소 저조하나 이후로는 좋은 성능이 출력됩니다.
같은 Stepper장비 Turn off 시 측정한 결과에 따르면 장비 IDLE 상태 진동에 의한 영향일 가능성이 큽니다. [140416R6-1 Report 참고]
X-axis (Left to Right) VC curves (21.12.15 측정)
Y-axis (Front to Back) VC curves
저주파 대역에서는 VC-F 이하로 진동이 적어 비례진동의 특성상 낮은 감쇠율이 출력됩니다.
10Hz 대역까지는 성능이 다소 저조하나 이후로는 좋은 성능이 출력됩니다.
같은 Stepper장비 Turn off 시 측정한 결과에 따르면 장비 IDLE 상태 진동에 의한 영향일 가능성이 큽니다. [140416R6-1 Report 참고]
Y-axis (Front to Back) VC curves (21.12.15 측정)
Reference
일반 진동 기준
참고:
- VC-A/B는 8-80 Hz, VC-C~VC-G는 1-80 Hz 범위의 1/3 옥타브 밴드에서 측정.
- 세부 크기는 마이크로일렉트로닉스 제조에서의 선폭 또는 의료 연구에서의 입자 크기를 의미.
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케이스 스터디 정보
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