일반 진동 기준
제진 성능에 대한 산업 표준 및 측정 기준.
소개
진동 기준(VC) 곡선은 진동에 민감한 기기 및 도구를 위한 시설을 평가하고 진동에 민감한 장비 및 공정을 지원할 구조물을 설계하기 위한 기준으로 전 세계적으로 널리 사용되고 있으며, Colin Gordon과 그의 동료들에 의해 개발되었습니다. 환경 진동이 장비별 진동 기준에 적합한 진동 기준 곡선을 준수하면 진동으로 인한 장비 작동 문제를 예방할 수 있습니다.
진동 기준 곡선 (VC Curves)
진동 기준 기준은 그림 1에 설명되고 표 1에 수치적으로 정의된 VC-A에서 VC-G까지 라벨이 붙은 1/3 옥타브 대역 속도 스펙트럼 세트의 형태를 취합니다. 진동은 제곱평균제곱근(RMS) 속도로 표현됩니다.
Figure 1
옥타브 대역이란?
옥타브 대역은 진동 레벨을 옥타브로 알려진 더 작은 세그먼트로 분할하여 개별 주파수에서 서로 다른 진동 레벨을 식별하는 방법을 제공합니다.
1/3 옥타브 대역은 주로 환경 및 소음 제어 응용 분야에서 사용됩니다. 각 옥타브 대역은 1/3 옥타브 대역이라고 하는 세 부분으로 더 분할되어 진동 레벨을 더 자세히 볼 수 있습니다. 전체 주파수 범위는 대역으로 알려진 주파수 집합으로 나뉩니다. 각 대역은 특정 주파수 범위를 나타냅니다. 대역이 증가함에 따라 상위 대역 주파수는 하위 대역 주파수의 두 배가 됩니다.
진동 기준 표
| 기준 곡선 | 설명 | 진폭¹ ㎛/s (μin/s) | 세부 크기² ㎛ |
|---|---|---|---|
| Workshop (ISO) | 뚜렷하게 인지되는 진동. 작업장 및 비민감 영역에 적합합니다. | 800 (32,000) | N/A |
| Office (ISO) | 인지 가능한 진동. 사무실 및 비민감 영역에 적합합니다. | 400 (16,000) | N/A |
| Residential Area (ISO) | 거의 인지되지 않는 진동. 대부분의 경우 수면 영역에 적합합니다. 일반적으로 컴퓨터 장비, 병원 회복실, 반도체 프로브 테스트 장비 및 40배 미만 현미경에 적합합니다. | 200 (8,000) | 75 |
| Operating Theatre (ISO) | 인지되지 않는 진동. 대부분의 경우 수술실, 100배 현미경 및 기타 저감도 장비에 적합합니다. | 100 (4,000) | 25 |
| VC-A | 대부분의 경우 400배 광학 현미경, 마이크로 저울, 광학 저울, 근접 및 투영 정렬기 등에 적합합니다. | 50 (2,000) | 8 |
| VC-B | 3㎛ 선폭까지의 검사 및 리소그래피 장비(스테퍼 포함)에 적합합니다. | 25 (1,000) | 3 |
| VC-C | 1000배 광학 현미경, 1㎛ 세부 크기까지의 리소그래피 및 검사 장비(중간 감도 전자 현미경 포함)에 적합한 표준입니다. TFT-LCD 스테퍼/스캐너 공정. | 12.5 (500) | 1-3 |
| VC-D | 대부분의 경우 많은 전자 현미경(SEM 및 TEM) 및 E-Beam 시스템을 포함한 까다로운 장비에 적합합니다. | 6.25 (250) | 0.1-0.3 |
| VC-E | 달성하기 어려운 기준입니다. 나노미터 스케일에서 작동하는 장거리, 레이저 기반, 소형 타겟 시스템, E-Beam 리소그래피 시스템 및 특별한 동적 안정성이 필요한 기타 시스템을 포함한 가장 까다로운 민감 시스템에 적합한 것으로 가정합니다. | 3.12 (125) | <0.1 |
| VC-F | 매우 조용한 연구 공간에 적합합니다. 대부분의 경우, 특히 클린룸에서 달성하기 어렵습니다. 설계 기준으로 사용하지 않고 평가용으로만 권장됩니다. | 1.56 (62.5) | N/A |
| VC-G | 매우 조용한 연구 공간에 적합합니다. 대부분의 경우, 특히 클린룸에서 달성하기 어렵습니다. 설계 기준으로 사용하지 않고 평가용으로만 권장됩니다. | 0.78 (31.3) | N/A |
¹ 8~80Hz(VC-A 및 VC-B) 또는 1~80Hz(VC-C~VC-G) 주파수에 대한 1/3 옥타브 대역에서 측정됨.
² 세부 크기는 마이크로일렉트로닉스 제조의 경우 폭, 의료 및 제약 연구의 경우 입자(세포) 크기 등을 나타냅니다. 이는 프로브 기술, AFM 및 나노기술과 관련된 이미징에 해당합니다.
이 표에 제공된 정보는 참고용입니다. 대부분의 경우 장비 및 공정의 응용 분야와 진동 요구 사항에 대해 잘 알고 있는 전문가의 조언을 구하는 것이 좋습니다.
Table 1
VC 기준 충족을 위한 액티브 제진
VC-D, VC-E 수준이 필요한 전자현미경(SEM·TEM)이나 E-빔 장비 환경은 건물 구조만으로 달성하기 어려운 경우가 많습니다. 바닥의 저주파 진동을 실시간으로 상쇄하는 액티브 제진 시스템을 장비 아래에 두면, 기존 건물에서도 장비가 요구하는 진동 기준을 충족할 수 있습니다. DVIA 시리즈는 0.5 Hz부터 6자유도 진동을 제어하는 대일시스템의 액티브 제진 제품군입니다.