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공압 서포트 저주파 진동 제어을 위한 정밀 설계.
공압 서포트 시스템은 외부 환경의 소음과 정밀 실험 사이의 연결 고리를 끊도록 설계되었습니다. 이중 챔버 에어 스프링이 안정적인 부유 기반을 제공하여, 건물에서 전달되는 저주파 진동이 광학 장비에 도달하기 전에 제어합니다.

보다 자세히 들여다보기.

이중 챔버 아키텍처.
탁월한 진동 차단 성능.

Dual Chamber Architecture

뛰어난 저주파 진동 감쇠성능

핵심은 이중 챔버 아키텍처에 있습니다. 단일 공기 컬럼이 아닌, 하중 지지 챔버와 숨겨진 리저버라는 두 개의 독립된 공간을 정밀 튜닝된 오리피스로 연결한 구조입니다. 시스템이 스스로 "호흡"할 수 있게 만든 설계입니다. 바닥에서 에너지가 유입되면 공기가 두 챔버 사이를 즉시 오가며, 물리적 크기를 기하급수적으로 초월하는 "가상 볼륨"은 기하학의 한계를 뛰어넘게 해줍니다.

대형 제진 시스템에서나 가능했던 초저주파 1.5 Hz 고유진동수를, 작업 공간을 침범하지 않는 슬림하고 컴팩트한 폼팩터 안에 담았습니다. 물리학을 다시 상상한 결과입니다. 손으로 누르면 반석처럼 단단하지만, 실험은 공기 쿠션 위에 부유합니다. 바깥 세계의 혼돈이 실험에 도달할 틈은, 어디에도 없습니다.

Dual Chamber Architecture Diagram

뛰어난 감쇠 성능. 층류 기반 에너지 소산.

진동 제어는 단순한 차단이 아니라 관리의 영역입니다. 외란 후 시스템이 무한히 진동하는 것을 방지하기 위해, 정밀한 유체-기계식 댐퍼를 기류 경로에 직접 통합했습니다.

피스톤이 수직으로 이동하면 상부 컴플라이언스 챔버의 공기가 압축됩니다. 이 압력이 공기를 정밀 교정된 오리피스를 통해 하부 댐핑 리저버로 밀어냅니다. 단순한 배기구가 아닌, 정밀하게 튜닝된 유로 저항입니다. 공기 분자가 이 좁은 통로를 통과하면서 오리피스 벽면과의 점성 마찰을 일으키고, 이 층류 저항이 시스템의 운동 에너지를 효과적으로 제거하여 테이블의 기계적 운동을 무시할 수 있는 수준의 열로 변환합니다.

빠른 정착 시간. 적응형 감쇠 아키텍처.

이 오리피스 설계의 핵심은 패시브 인텔리전스에 있습니다. 감쇠력이 속도에 비례하여, 외란의 크기에 정확히 반응합니다.

연구자가 테이블을 치거나 스테이지가 급가속하면, 피스톤이 빠르게 이동하며 공기를 고속으로 오리피스에 통과시킵니다. 즉각적이고 강력한 감쇠력이 발생하여 흔들림을 순간적으로 잡아냅니다. 반대로 미세한 지반 진동이 전달되는 통상 운전 상태에서는 공기가 느리고 자유롭게 흘러 저항이 거의 제로에 가깝습니다. 제진에는 "유연하게", 진동 억제에는 "견고하게" 반응하는 시스템입니다. 외란 발생 수 초 만에 데이터 수집을 재개할 수 있습니다.

짐벌 피스톤.
모든 방향의 정적.

Gimbal Piston
세상은 위아래로만 진동하지 않습니다. 흔들리고, 밀리고, 비틀립니다. 발자국, 교통, 바람의 전단력— 수평 소음은 정밀도의 보이지 않는 적입니다. 기존 에어 스프링은 중력에 대항할 수 있지만, 수평 이동은 막을 수 없습니다. 진정한 정적을 달성하기 위해, 대지와 작업 환경 사이의 연결을 근본적으로 재설계했습니다.짐벌 피스톤(gimbal piston)이 이 마지막 연결 고리를 끊습니다. 역진자 원리로 작동하여 서포트 컬럼이 거의 제로에 가까운 마찰로 회전합니다. 바닥이 수평으로 이동해도 메커니즘이 유연하게 반응하여, 바닥이 장비 아래로 무해하게 미끄러집니다. 공간이 어떻게 움직이든, 데이터는 절대적으로 유지됩니다.

자동 수평 조절.
정밀 높이 제어

Automatic leveling valve

안정성은 본질적으로 기하학의 문제입니다. 이를 해결하기 위해, 완벽한 평면을 정의하는 유일한 형태인 삼각형에 의존합니다. 세 개의 독립 수평 레밸링 밸브 구성으로 작업의 견고한 기준점을 확립합니다.

Tie-Bar Frame

키네마틱 삼각대로서, 이 센서들은 시스템의 신경계 역할을 하며 테이블 위치를 지속적으로 모니터링합니다. 하중이 변하는 순간—무거운 레이저 소스를 교체하거나 다축 스테이지를 조정할 때—밸브가 즉시 반응합니다. 독립적으로 공기를 흡입 또는 배출하여, 테이블을 부유 평형 상태로 즉시 복원합니다.

정확한 곳에서의 반복 정밀도. 일반 분광학에는 표준 수평 밸브가 ±1.0 mm의 안정적인 반복 정밀도를 제공합니다. 모든 마이크론이 중요한 결합 레이저 시스템에는 정밀 수평 밸브가 ±0.05 mm까지 제어를 강화합니다. 실험이 어떻게 변하든, 광축은 정확하게 유지됩니다.

모든 연구 환경에 맞는 유연한 구성.

환경이 장비에 맞추는 것이 아니라, 장비가 환경에 맞추도록 설계했습니다. 통합 이동형 구조든 모듈형 독립 구성이든, 진동 차단 성능은 타협 없이 유지됩니다. 각기 다른 공간적 과제를 해결하면서도 동일한 정적의 기반을 제공하는 두 가지 프레임 아키텍처를 제공합니다.
타이바 프레임.
통합된 강성. 자유로운 이동.
타이바 프레임
타이바 프레임은 통합 구조적 무결성의 결정체입니다. 아이솔레이터들을 하나의 견고한 샤시로 연결하여 풋프린트 기하학을 고정하고, 뛰어난 안정성과 정렬을 보장합니다. 헤비듀티 캐스터가 프레임에 직접 통합되어, 정적 광학정반을 이동식 워크스테이션으로 전환합니다. 레이아웃 변경이 빈번하고 신속한 배치가 필요한 역동적 연구실에 이상적입니다. 공간을 얼마나 자주 재구성하든, 정밀한 정렬이 유지되는 깔끔하고 반복 가능한 설정을 제공합니다.
독립형 프레임.
모듈형 서포트. 최대의 유연성.
독립형 프레임
건축적 자유를 요구하는 환경을 위해 독립형 프레임을 설계했습니다. 4개 또는 6개의 독립 제진 아이솔레이터으로 구성된 이 모듈형 시스템은 고정 치수에서 풋프린트를 해방합니다. 바닥 장애물을 정확히 피하고, 맞춤 테이블 형태를 수용하며, 하중 분배를 제한 없이 최적화할 수 있습니다. 공간이 제한된 시설이나 테이블 하부 접근을 최대화하고 고유한 현장 조건에 적응해야 하는 고정 설치에 적합한 아키텍처입니다.
최적의 구성 찾기
선택은 작업 공간과의 상호작용 방식에 달려 있습니다. 빠른 설치와 간편한 이동이 가능한 견고한 구조가 우선이라면, 타이바 프레임이 정답입니다. 복잡한 레이아웃이 요구하는 정확한 위치에 서포트를 배치할 자유가 필요하다면, 독립형 프레임이 해답입니다.

성능

성능 데이터
10 Hz 제진율80 – 99%고유진동수1.5 – 3 Hz

사양

타이바 프레임독립형 프레임
프레임 구조
프레임 재질스틸
구조 방식일체형 타이바 프레임독립형 프레임
이동성통합 캐스터미포함
제진 성능
제진 방식공압 제진
고유진동수1.5 – 3 Hz (수직/수평)
10 Hz 제진율80 – 99%
수평 조정 및 하중
레벨링 밸브3 EA
레벨링 반복정밀도±1.0 mm, ±0.05 mm(옵션)
최대 하중 용량2000 kg
필요 공압 사양
공급 압력4 - 6 bar
유량10 L/min
공압 연결⌀ 6 mm 에어 피팅

주문 정보

가로 범위: 10003600 mm

세로 범위: 6001500 mm

높이 옵션: 400, 500, 600, 700, 800 mm

보드 두께: 200, 300, 400 mm

프레임 타입: 타이바 또는 독립형