경인일보, 경기도 R&D 지원으로 개발한 대일시스템 고속 정착 능동제진장치 소개

경인일보가 '경기도 중소기업 R&D 지원으로 건강한 일자리 만든다' 기획 시리즈 2회로 대일시스템을 다뤘습니다. 민정주 기자가 용인 현장을 취재했습니다.

개발 과제는 반도체·FPD 검사장비가 안고 있던 구체적인 문제였습니다. 진동을 강하게 억제할수록 장비 베이스가 함께 흔들려, 제진 성능을 올린 대가를 정착 시간으로 치러야 했습니다. 대일시스템은 피드포워드 제어에 보이스코일 모터와 서보밸브를 결합해 스테이지 외란을 직접 상쇄하는 방식으로 접근했고, 진동 전달 35dB를 유지하면서 정착 시간을 0.2초까지 줄였습니다. 종전 세대가 요구하던 시간의 약 10분의 1입니다.

개발은 12개월에 걸쳐 약 2억 원이 투입됐고, 이 가운데 1억 1100만 원을 경기도가 지원했습니다. 보도 시점 기준 종업원은 37명, 매출은 약 57억 원이었으며, 이 제품으로 고용을 늘리고 매출을 62억 원 수준까지 끌어올릴 것으로 전망했습니다.

원문: kyeongin.com