설치 보고서

DVIA-ULF Series

06-11-2019

Institute for Basic Science 2F Analysis Lab NIKON ECLIPSE TE300 DVIA-UD350 P13 Performance Installation Report

DVIA-UD Series

Installation Report

Institute for Basic Science

DVIA-UD350

Nikon

ECLIPSE TE300

P13

기초과학연구원(UD350_P13 Set_Up)

현장 확인 항목

타겟 장비	NIKON_ECLIPSE TE300
설치장소	기초과학연구원 2층 분석실
특이사항	제진대 성능 양호
END USER	기초과학연구원

출장·보고 일정

출장일 : 19.06.10

출장자 : 최형문

작성일 : 19.06.11

개요

제진대 설치 후 진동환경을 측정하여 장비 사용에 문제가 없는지 확인함. 측정일: 2019.06.10(월), 측정자: 대일시스템 최형문 과장 측정장소 : 기초과학연구원 2층 분석실 장비 모델 : NIKON_ECLIPSE TE300 측정 조건 및 결과 측정결과 요약 Test Condition VC-Class (일반 조건) Z X Y 건물 바닥 C E E 제진대 상판 G G G 전 방향 성능이 양호하며, VC-Class그래프를 첨부함. 측정 조건은 일반 조건( SEM 펌프 가동 )과 평상시 조건(SEM/코팅기 펌프 가동/사람이 걸어 다닐 때)으로 측정함. 주변 펌프가 작동하거나 사람이 돌아다니는 등 환경이 변화해도 제진대 상부의 진동 환경에는 큰 영향을 주지 않음. 이미지 측정시 고객 성능 만족함.

측정 요약 (VC-Class)

Test Condition	VC-Class (일반 조건)
	Z
건물 바닥	C
제진대 상판	G

UD350 내부 프로그램 성능 측정 결과

Z축 (내부 프로그램)

X축 (내부 프로그램)

Y축 (내부 프로그램)

Octave Band Result (BASE: 바닥, TOP: 제진대 상부)

Z축 (옥타브 밴드)

X축 (옥타브 밴드)

Y축 (옥타브 밴드)

참조

기준 곡선	설명	진폭 μm/s (µin/s)	Detail Size μm
Workshop (ISO)	사람이 뚜렷이 느낄 수 있는 진동. 작업장·비민감 구역에 적합.	800 (32,000)	N/A
Office (ISO)	사람이 느낄 수 있는 진동. 사무실·비민감 구역에 적합.	400 (16,000)	N/A
Residential Area (ISO)	거의 느껴지지 않는 진동. 대부분의 수면 구역에 적합.	200 (8,000)	75
Operating Theatre (ISO)	진동이 느껴지지 않음. 수술실·100배까지 현미경에 적합.	100 (4,000)	25
VC-A	400배까지 광학현미경·정밀저울 등에 적합.	50 (2,000)	8
VC-B	3μm 선폭까지 검사·리소그래피 장비에 적합.	25 (1,000)	3
VC-C	1000배 광학현미경·1μm 리소그래피 등에 적합.	12.5 (500)	1 - 3
VC-D	SEM/TEM 등 고사양 전자현미경에 적합.	6.25 (250)	0.1 - 0.3
VC-E	나노 E-Beam 리소그래피 등 최고 민감 설비.	3.12 (125)	< 0.1
VC-F	극저노이즈 연구공간. 설계 기준으로는 비권장.	1.56 (62.5)	N/A
VC-G	극저노이즈 연구공간. 설계 기준으로는 비권장.	0.78 (31.25)	N/A

*참고:*

- VC-A/B는 통상 8–80 Hz 1/3 옥타브 밴드, VC-C–G는 1–80 Hz 1/3 옥타브 밴드에서 측정된 진폭으로 해석한다.

- Detail size는 반도체에서는 패턴 선폭, 의료·입자 분야에서는 입자 크기 등을 가리킨다.

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