Tier-1 Semiconductor Fabrication Facility Hwaseong ZEISS AIMS32-193i DVIA-P4000 Installation Report
Contents
개요
Tier-1 Semiconductor Fabrication Facility 화성사업장 NRD Line에 설치된 DVIA-P4000 점검 진행하였습니다.
장비 설치 및 IDLE 상태로 점검 및 진동측정 진행하였습니다.
25.11.10 점검 시 제진대 주변 Access floor 일부가 제진대와 맞닿아 있엇습니다.. 이러한 구조적 간섭은 제진 성능에 직접적이고 강한 영향을 미치는 요소입니다.
제진대 위에 설치된 장비 인접부에 Booth 구조물이 연결되어 있었으며, 해당 Booth에서 강한 진동이 지속적으로 발생하는 것이 확인되었습니다. 이러한 진동은 제진대의 성능 및 진동측정 결과에 영향을 미칠 가능성이 높습니다.
점검 전과 점검 후 데이터를 비교하였습니다.
Data를 VC Curve로 표기 후 진동 수준에 대한 Reference 자료를 제공합니다.
진동 제어 시스템 정보
모델: DVIA-P4000
시리얼 넘버: 016147
엔지니어
대일시스템 필드엔지니어 이채원
점검 날짜
2025년 12월 08일
설치 장소
Tier-1 Semiconductor Fabrication Facility 화성사업장 NRD Line
최종 사용자
Tier-1 Semiconductor Fabrication Facility
고객사 장비
Manufacturer: ZEISS
Equipment: Photomask Qualification
Model: AIMS32-193i
장비 스펙
VC-C
장비상태
장비 설치 및 IDLE
진동 측정 장비
Data Physics DAQ
Hardware: QUATTRO, Serial Number: 22436
Software: SignalCalc ACE
Accelerometer
PCB Accelerometer
Model: 393B05
진동 측정 Setup
F Span: 200 Hz
Lines: 3200
Engineering Units: m/s
Window: Hanning
Averaging: FFT Spectrum Averaging
Averaging mode: Exponential, 40
결론
제진대 최초 점검 시 Access floor가 제진대와 일부 맞닿아 있는 상태였으며, 이 상태에서는 모든 방향에서 SPEC Out입니다.
제진대 튜닝 후 측정 결과 모든 방향에서 SPEC을 만족합니다.
측정 데이터
| 측정 장소 | 상태 | 방향 | 진동 스펙 | 측정값 (튜닝 전) | 측정값 (튜닝 후) | 측정 결과 (튜닝 전) | 측정 결과 (튜닝 후) |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| Tier-1 Semiconductor Fabrication Facility 화성사업장 NRD Line 1. Before Tuning 2. After Tuning | 장비 설치 및 IDLE | Vertical | VC-C | VC-B @ 12.5 Hz | VC-C @ 12.5 Hz | ✗ FAIL | ✓ PASS |
| Left to Right | VC-B @ 12.5 Hz | VC-C @ 12.5 Hz | ✗ FAIL | ✓ PASS | |||
| Front to Back | VC-A @ 12.5 Hz | VC-C @ 12.5 Hz | ✗ FAIL | ✓ PASS |
데이터&이미지
Vertical VC Curves
Vertical Autospectrum
Left to Right VC Curves
Left to Right Autospectrum
Front to Back VC Curves
Front to Back Autospectrum
참고자료
Generic Vibration Criteria
참고:
- VC-A/B는 8-80 Hz, VC-C~VC-G는 1-80 Hz 범위의 1/3 옥타브 밴드에서 측정.
- 세부 크기는 마이크로일렉트로닉스 제조에서의 선폭 또는 의료 연구에서의 입자 크기를 의미.
